Молекулярный вакуумный насос

Молекулярный вакуумный насос

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

- -.т - ьо О .) (Оз вв(ю

) ..-:.

T! (j и Т Н 0 - Т,Э 4" т (ЕМ@9@@@ (; l! Г) П, О Т Q „„; с

ОП ИСАН Е

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

276308

Союз Советских

Социалистических

Республик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Зависимое от авт. свидетельства ¹â€”

Кл. 27с, 2

Заявлено 29.111.1969 (№ 181528()г24-6) с п()исос.(инсинс)(заявки

Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров

СССР

МПК Г 04d 19/04 Д К 621.02 (.S (088.8) Приоритет—

Оп бликоьаио 14.Ъ 11.1970. Ьюллстсн(М 28

Дата ои) бликования описания "7 Х.1970

Автор изобретения

1О. (т т. Туз анкин

Заявитель

МОЛЕКУЛЯРНЫЙ ВАКУУМНЫЙ НАСОС

Известны молскулярныс вакуумные насо;ы, содержащие корпус с размещенным в исм роторные диском, на обеих сторонах «оторого ПО Онцентриче кнм Ок))ужност51м становлены рабочие лопатки, и иатрубки ввода и вывода откачнваемого газа.

Цель .изобретения — уменьшение габари гов и повышение быстроты откачки. Это достигается тем. что лопатки па разных сторонах диска установлены с протнвополо>кным наклоном для изменения направлония движения 3. за I! между периферийными рядами лопаток и боковой цилиндрической поверх((остью корИ)УС3 ВЫНОЛИЕИЯ КОЛЬЦЕВ25! ПОЛОСТЬ ИРО)!ЕЖ точного вакуума для IIGBopoT3 потока. Патр) GI(II ПО Гклlоченьl корп с 5 в цсн1 ральной части насоса с разны. . сторон диска.

I I a ч е р т е>к е с х е м 2 т и 1 е с к и показан 0 и и с ьlвасмый насос.

В корпусе Нo кснцентричсским окру>кнсстям установлены ря:(ll роториых лопаток (или прорезей) 2, укре(!Ленных 113 обеих сторонах рОТорного дИСI(3 3. .г((ЕЖдт p51да)11(pогориь! .

ЛОИ 3TÎК Р <13)(ЕЩЕ (1 Ы P51;ibl СТ2ТОP II ЫХ,10И3

ТОК 4. ДЛ5(1!З)1 СИ СИИ5! !I3(IPBB.ICI4115I ПОТОКЯ ATкачиваемого газа и тем самым уменьшеч(и51 колнчсства ря 10в ири сохранении общего количества ступеней лопатки h3 разных сторонах диска располо>кены с противополо>кным и 3 к л о н О м . C P e;I 11 51 51 о к Р У >la I I 3 5! с к 0,) 0 с т ь н «() и ()1 11" b l ВС I!I IC11(l, I TO, B CBAIA A I (рсдь, приводит к iioB»liiicii»in стсиени cжатия и быстроты откачки.

Между периферийными рядами лопаток и боковыми ци IIII13pII Ieñêèì!(стснками корпуса образована кольцевая полость 5 иромсжуточного вакуума, служащая для поворота потока. Раз ье)1 (> ОРпт 2 вы!10 1!1 51(Tc51 B BTGI I полости. Газ из ооъема откачивается чорсз (! патрубок 7 и нагнетается к форвакуу мному насосу через патрубок 8. Для большеи эффект!(вности первого ряда статорных лопаток ротор!(ый диск имеет центральный выступ 9, который сообщает входящему газу дополнительную тангенциальную составляющую скорости. ! 13Cn СНЯОЖСП НСТ1)оснньlм 13bICOI(OBBCTOT!kbl)I электроприводом 10.

Прсдмет изооретения

М Ол с к 532 51 р 1! bl l I В 2 ку x ) i í û!! 11 3 c o c . c o:(с р >к (!щий корпус с размеще!(ным в нс)! роторным .(Нско)!, и (1 Оосих сто|) Он ах котОР ОГО II A !.Оицснт() и Iеc!(им Окружностям уста!1Овлень(p300чис лопатки. !i иатрубки ввода и BI IBA;(3 откачиваем(:го газа, от ггг гпгогггггггс.г тем, что, с целью повышения быстроты откачки; уменьшения габаритов, лопатки на разны. сторонах

ДПС! Я 3 СТЯНСВЛЕН(1 С ПРОТИВО(!ОЛОЖНЫ)! НЯ1 3() лоном для изменения направления дни>кения

9 7

Составитель Т. Рабчук

Редактор А. Ю. Пейсочеико Текред А, Камышиикова Корректор В. И. Жолудева

Заказ 4658 Тираж 480 Подписное

Ц1-!ИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Ж-35, Раушскаи паб., д. 4/5

Загорская типографий газа и между периферийными, рядами лопаток и боковой цилиндрической поверхностью корпуса выполнена кольцевая полость промежуточного вакуума для поворота потока, а патрубки подключены к корпусу. в цс41тральной части насоса с,разных сторон диска.

Приоритет исчислять от 22.VIII.1964.