Шлюзовое устройство для вакуумных установок
Иллюстрации
Показать всеРеферат
276686
ОПИСАНИ Е
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Советскив
Социелистичеокив
Республик
Зависимое от авт. свидетельства ¹
Заявлено 07.IV.1969 (№ 13 21263/22-1) Кл. 48Ь, 13/08 с присоединением заявки №
МПК С 23с 13/08
УДК 621.793.14.002,52 (088.8) Приоритет
Опубликовано 14.VII.1970. Бюллетень № 23
Дата опубликования описания 11 XI.1970
Комитет ла делам изобретений и открытий ври Совете Министров
CCQI
- -" - Ж311АЯ
Авторы изобретения
"- " " EIl TIIg рщ,-,щ !А крыти4.
В 10ТЕКА
П. И. Бахур и Ю. А. Екимов
Специальное конструкторское бюро вакуумных п
Заявитель
ШЛЮЗОВОЕ УСТРОЙСТВО ДЛЯ ВАКУУМНЫХ УСТАНОВОК
Предмет изобретения
Изобретение относится к области нанесения вакуумных покрытий.
Известно шлюзовое устройство для вакуумных установок, содержащее шлюзы.
Предложенное устройство отличается от известного тем, что шлюзы выполнены в виде последовательно соединенных между собой посредством отсеков со ступенчато-понижающим давлением вакуумноплотных камер, снабженных загрузочными механизмами роторного типа.
Данное устройство обеспечивает непрерывность подачи штучных изделий в вакуумную камеру.
На чертеже представлено предлагаемое устройство.
Оно состоит из шлюзов, выполненных в виде последовательно соединенных между собой посредством отсеков 1 со ступенчато-понижающим давлением вакуумноплотных камер 2, снабженных загрузочными механизмами 8 роторного типа. Внутренняя поверхность корпуса вакуу мноплотных камер и наружная поверхность загрузочного механизма образуют узкую щель, ограничивающую натеканпе из области низкого вакуума в область более высокого вакуума. Отсеки 1 соединены отсасывающнми патрубкамп 4 с вакуумными насосами 5.
Из бункера 6 изделия попадают в гнездо 7 загрузочного механизма 3, а затем при повороте последнего на 180 изделия попадают через отсек 1 в гнездо 7 следующего загрузочного механизма 8. Пройдя последовательно через все отсеки, изделия поступают в вакуумную камеру 8.
Шлюзовое устройство для вакуумHblx установок, содержащее шлюзы, отличающееся тем, что, с целью обеспечения непрерывности подачи штучных изделий в вакуумную камеру, шлюзы выполнены в виде последовательно соединенных между собой посредством отсеков со ступенчато-понижающим давлением вакуумноплотных камер, снабженных загрузочными механизмами роторного типа, 276686
Составитель И. Резник
Редактор E. Хорина Техред А. А. Камышиикова Корректоры: В. Петрова и А. Николаева
Заказ 3034/14 Тираж 480 Подписное
ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Москва, К-35, Раушская наб., д. 4/5
Типография, пр. Сапунова, 2