Устройство для изготовления микросхем

Устройство для изготовления микросхем

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

О П И С А Н И Е 277895

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 03.111.1969 (№ 1308249/26-9) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 05.Ч111.1970, Бюллетень № 25

Дата опубликования описания 19.XI.1970

Кл. 21а, 75

МПК Н 05k 3/12

УДК 621.3.049.75 (088.8) Комитет по делам изооретений и открытий дри Совете Министров

СССР

I! «д.т т ттт. т . :,"»

А. Н. Григорьев, Б. И. Тимофеев и Н. С. Алимкин

- 3!

Авторы изобретения

Заявитель

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МИКРОСХЕМ

Известно устройство для изготовления микросхем, содержащее механизм подачи подложек, механизм покрытия подложек клеем, механизм шаговой подачи пленки и механизм формирования токопроводящих элеметгтов микросхемы.

Цель изобретения — повышение производительности у стройства. Достигается это тем, что в нем механизм формирования токопроводящих элементов микросхемы выполнен в виде набора полых пуансонов, сквозной канал которых сообщается с внутренней полостью цилиндрического пуансонодержателя, снабженного подпружиненным поршнем, в прорезь штока которого входит фиксатор, выполненный в виде подпружиненного рычага.

На чертеже схематически изображено устройство в разрезе.

Устройство содержит матрицу 1, съемник 2, пуансон 8 с каналом 4, пуансонодержатель 5, цилиндрическую полость 6, поршень 7, рычаг

8, заготовку. 9 элемента, пленку 10, подложку П, коленчатый вал 12 и пружину 18.

При двусторонней наклейке устройство представляет собой два или более штампов, каждый из которых включает матрицу 1, съемник 2, пуансон 8 с каналом 4 всасывание — выхлоп, соединенным с внутренней цилиндрической полостью б пуансоиодержателя 5. Цилиндрическая полость перекрыта поршнем 7.

Подпружиненный рычаг 8 удерживает поршень 7 до момента подхода пуансонов с вы5 рубленными из пленки 10 заготовками элементов к подложке П с нанесенным клеем.

Привод пуансонодержателя осуществляется от коленчатого вала 12. После подачи на место подложки 11 с нанесенным клеем и по10 дачи на шаг пленки 10 посредством узла подачи пуансонодержатель с пуансонами 8 получает поступательное движение от вала 12 и при движении к подложке 11 вырубает из пленки 10 заготовки элементов заданного конЫ тура.

За время прямого хода пуансонодержателя подпружиненный рычаг 8 удерживает поршень 7 в исходном положении, в результате чего объем полости 6 увеличивается, Заготов20 ки 9 перекрывают канал 4, и при дальнейшем ходе пуансонодержателя происходит разряжение замкнутого объема воздуха в его полости.

Атмосферное давление удерживает заготовки на рабочих торцах пуансонов.

2S Пуансоны должны доходить до подложки с зазором в пределах 0,1 — 0,5 лтм. Зазор необходим для предотвращения попадания клея с подложки на рабочую поверхность пуансона. В момент максимального приближения

30 пуансона к подложке срабатывает рычаг 8, Узел А

Составитель А. Мерман

Тскред 3. H. Тараненко

Редактор Н. Вирко

Корректоры: А. Абрамова и М. Коробова

Заказ 3210/5 Тираж 480 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4)5

Типография, пр. Сапунова, 2 освобождая поршеш. 7, который под действием сжатой пружины 18 с. силои выта 11

При обратном ходе пуансонодержатель возвращает поршень в исходное положение, где

его фиксирует рычаг 8.

Предмет изобретения

Устройство для изготовления микросхем, содержащее механизм покрытия подачи подЛО?кек, механизм покрь!Тия подлои<ек 1<леем, механизм шаговой подачи пленки и механизм формирования токопроводящих элементов микросхемы, Отличавшееся тем, что, с целью

5 повышения производительности работы устройства, механизм формирования токопроводящих элементов микросхемы выполнен в виде набора полых пуансонов, сквозной канал которых сообщается с внутренней полостью

10 цилиндрического пуансонодержателя, снабженного подпружиненным поршнем, в прорезь штока которого входит фиксатор, выполненный в виде подг1ружиненного рычага.