Устройство для нанесения многослойных покрытийв вакууме

Устройство для нанесения многослойных покрытийв вакууме

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

27929l

О П-И

ИЗОБРЕТЕНИЯ

Союа Советских

Социалистических

Реслуйлик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Зависимое от авт. свидетельства №

Кл. 48Ь, 13/10

Заявлено 12.V1.1968 (№ 1250007/26-9) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 21.Vill.1970. Бюллетень № 26

Дата опубликования описания ЗО.Х1.1970

МПК С 23с 13/00

УДК 539.231(088.8) Комитет оо делам иаобретеиий и открмтий ори Совете Мииистров

СССР

Авторы изобретения А. И. Баранов, В. Д. Бацкиаури, И. И. Воскобойников, P. А. Гаврилов, В. П. Галяткин, М. С. Голубцов, М. Б. Замиховский, А. И. Залипский, В. А. Злотин, Л. И. Казацкер, Г. В. Лагуткин, Ю. С. Ларионов, С. П. Преображенский, Д. Л. Малкин, И. В. Раменский, И. С. Симеонова, Б. Г. Тихомиров, И. Ш. Фишель и М. М. Шуберт

Заявитель

УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ МНОГОСЛОЙНЫХ ПОКРЫТИЙ

В ВАКУУМЕ

Изобретение относится к области технологии радиоэлектронной аппаратуры, в частности к конструированию оборудования, используемого для изготовления многослойных тонкопленочных микросхем.

Известны устройства для нанесения многослойных покрытий в вакууме, состоящие из ряда последовательно соединенных камер, снабженных испарителями, нагревателями, откачной системой, содержащие транспортирующий механизм, устройства загрузки и выгрузки подложек и приводные механизмы. Для изоляции внутрикамерных устройств от потока паров, исходящего от испарителя, в рабочих камерах установлены экраны.

Однако подобные устройства ненадежны в работе, так как механизмы, расположенные в рабочих камерах, а также транспортирующий механизм подвергаются загрязнению частицами конденсата, испытывают нагрев и работают в условии повышенного трения без смазки, Кроме того, ввиду возможности проникновения частиц испаряемого материала с одной рабочей позиции на другую, а также вследствие загрязнения камер продуктами износа работающих механизмов при работе на подобных устройствах имеет место выход некачественных изделий.

С целью повышения надежности работы устройства и улучшения качества и воспроизводимости наносимых покрытий в предлагаемом устройстве вне зоны расположения обособленных рабочих камер параллельно им установлена дополнительная вакуумная камера, 5 в которой размещен транспортирующий механизм, сообщающийся с каждой из рабочих камер посредством вакуумплотно-перекрываемых шлюзовых окон, расположенных на боковой стенке дополнительной камеры в местах

10 присоединения к ней рабочих камер, причем каждая рабочая камера или группа рабочих камер содержит индивидуальную систему высоковакуумной откачки, работающую независимо от высоковакуумной системы откачки

1З дополнительной камеры и системы откачки шлюзовых камер. Кроме того, каждая из рабочих камер или группа их снабжены индивидуальной системой высоковакуумной откачки.

На фиг. 1 — общий вид предлагаемого уст20 ройства в двух проекциях; на фиг. 2 — поперечный разрез устройства по дополнительной и рабочей камерам.

Как видно из фиг. 1, устройство состоит из ряда последовательно установленных обособ2s ленных рабочих камер 1 и дополнительной вакуумной камеры 2. Крайние камеры 8 и 4 служат для размещения в них механизмов загрузки и выгрузки соответственно.

В дополнительной вакуумной камере 2 (см.

30 фиг. 2) расположен транспортирующий меха279291 низм б подложки. В рабочих камерах, количество которых определяется технологическим процессом нанесения покрытий, размещены испарители б, нагреватели 7 подложек 8 и другие приспособления, необходимые для осуществления процесса нанесения покрытия, (например, заслонки, термопары, датчики контрольно-измерительной аппаратуры) .

Объем рабочей камеры отделяется от объема камеры дополнительной вакуумной камеры посредством вакуумной заслонки 9.

Транспортирующий механизм сообщается с рабочими камерами через шлюзовые окна 10, расположенные на боковой стенке 11 дополнительной камеры.

Рабочие камеры откачиваются с помощью высоковакуумного агрегата 12, а дополнительная камера — с помощью агрегата 18.

Размещение транспортирующего механизма в отдельной камере, вакуумноплотно-изолируемой от рабочих камер, при проведении процесса осаждения предотвращает проникновение испаряемых частиц в соседние камеры, а также исключает загрязнение рабочей камеры продуктами износа механизмов, что способствует осаждению покрытий высокого качества.

Благодаря изоляции транспортирующего механизма от,рабочих камер предотвращается также его нагрев, что способствует более длительной его службе.

5 Предмет изобретения

1. Устройство для нанесения многослойных покрытий в вакууме, выполненное в виде ряда последовательно установленных обособленных

1О рабочих камер, снабженных испарителями, нагревателями и откачной системой, содержащее транспортирующий подложки механизм, механизмы загрузки и выгрузки и приводные механизмы, отличающееся тем, что, с у5 целью повышения надежности устройства и улучшения качества и воспроизводимости наносимых покрытий, вне зоны расположения рабочих камер параллельно им установлена дополнительная вакуумная камера, служащая для размещения в ней транспортирующего механизма, сообщающегося с каждой из рабочих камер посредством вакуумно-перекрываемых шлюзовых окон, расположенных на боковой стенке дополнительной камеры в местах присоединения к ней рабочих камер.

2. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что каждая из рабочих камер или группа их снабжены индивидуальной системой высоковакуумной откачки.

279291 я и в

Фиг.2

Составитель Матевосов

Техред 3. Н. Таранеико

Корректоры: А. Николаеьа и Л. Корогод

Редактор Морозова

Типография, пр. Сапунова, 2

Заказ 3230/14 Тираж 480 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5