Патент ссср 279598

Патент ссср 279598

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Союз Советских

Социалистических

Республик

ОП ИГРАНИ Е

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Заз;поимое от авт. свидетельства _#_e—

Заявлено 19 Ylll. 1968 (№ 1263839/22-1) 1

2 + и Ф

Кл. 12, 17, 08 с присоединением заявки №вЂ”

Комитет по делам изобретений и открытий арн Совете Министров

СССР

Приоритет—

Опубликовано 26.7111.1970. Бюллетень ¹ 27

МПК В 011 17(08

УДК 669.046:621.365я$

ЭСЕСОЮЭЙАЯ

GATE, ", ЖЧ т.А"., Дата опуоликования описания 25.I.1971

Авто,ры изобретения Н. В. Дегтярик, А. М. Киселев, И. И. Лежебоков, С. С. Наройчяк, А. А. Николаев, М. О. Осовский, П. Я. Селиванов и В. К. Шкляревский

Заявитель

УСТРОЙСТВО ДЛЯ АВТОМАТИЧЕСКОГО РЕГУЛИРОВАНИЯ

ДИАМЕТРА РАСТУЩЕГО КРИСТАЛЛА В ПРОЦЕССЕ

БЕСТИГЕЛЬНОЙ ЗОННОЙ ПЛАВКИ

Изобретение относится к области цветной металлургии, в частности к процессу получения полупроводниковых материалов на установках бестигельной зонной плавки.

Известно устройство для автоматического регулирования диаметра растущего кристалла в процессе бсстигельной зонной плавки, состоящее из оптической системы с фотоприемником контроля диаметра кристалла, измерительного прибора и регулятора. Однако такое устройство не дает достаточно точного измерения диаметра кристалла.

Целью предлагаемого изобретения является повышение точности регулирования процессов выращивания полупроводниковых кристаллов.

Это достигается тем, ITo оптическая система снабжена приводом слежения за фронтом кристаллизации. Привод слежения включает фотоприсмник фронта кристаллизации, расположенный на проекционном экране, электронный усилитель и реверсивный двигатель, вал которого сочленен с двумя зеркалами, ось которых перпендикулярна линии плоскостей зеркал.

Для устранения влияния загрязнения смотрового стекла на точность регулирования на проекционном экране дополнительно установлен корректирующий фотоприемник, визированный на разогретую часть кристалла и включенный противоположно фотоприемнику контроля диаметра растущего кристалла.

На чертеже представлена принципиальная схема предлагаемого устройства.

Устройство состоит из расплавленной зоны 1,. части слитка 2, фронта кристаллизации 8,. смотрового стекла 4, зеркала 5, линз 6, зеркал

7, индуктора 8, проекционного экрана 9, фотоприемника контроля 10, фотоприемника 11 фронта кристаллизации, корректирующего фотоприемника 12, измерительного прибора 18, регулятора 14, двигателя 15 сжатия-растяжения, задатчика 16, электронного усилителя 17, реверсивного двигателя 18 и кпнематичсской системы 19.

Устройство работает. следуюшим образом.

15 Расплавленная зона 1 создается на небольшом участке слитка 2 токами высокой частоты, протекающими по индуктору 8. Сжатие-растяжение зоны осуществляется двигателем 15 через кипематичсскую систему 19. Посредством оп20 тической системы, состоящей пз лпнз 6, зеркал

5 и 7, через смотровое стекло 4 на проекционном экране 9 с фотоприемниками 10, 11 и 12 проецируется перевернутое двойное изображение части слитка 2 вблизи фронта крпсталли25 зацип 8. На фотоприемник 10 проецируются оба края профиля зоны 1, Изменение профиля зоны регистрируется измерительным прибором

18 с задатчиком 16. Выходной сигнал прибора

18 поступает в регулятор 14, который управля30 ет двигателем 15 сжатия-растяжения зоны до

279598

Со" rа пrr r Лтросп )ов

Tc:rt)ñä 3, и. Таранеяко Корр.. к ) оо В. и. )Ко,)удава

Редактор T. Фа))сева

3:;,,ràç 0810 1 :)рвгк 480 По,ап:."..ое

?1НИИПИ Ком:ггета r;a .,e,.:à)r т)аобрете п)0 я открыт;;;": rrt);; Ссве-.е Ча)п)астров СССР.

Москва, Ж-35, Рат гавкая па5., и. !/5

С)ог)асткая тппогра;р).я Кс .-ромского упр.".ппc:Iяя по пеаагя компенсации входного сигнала. На фотоприем-ник 11 проецируется фронт кристаллизации 8.

При изменении положения фронта кристаллизации изменяется освещенность фотоприемника 11. Сигнал с.фотоприемника поступает на вход усилителя 17 с реверсивным двигателем

18 на выходе. Реверсивный двигатель изменяст угол наклона зеркал 7 в вертикальной плоскости до компенсации рассогласования, т. е. возвращает проекцию фронта кристаллизации в первоначальное положение.

Фотоприемник 12 применяется для уменьшения влияния загрязнения смотрового стекла в схемах контроля диаметра слитка и системы слежения. При изменении освещенности, что имееТЯесто Щ и загрязнении стекла, изменяется си -àл, который снимается с фотоприемника 12 и поступает, как корректирующий, в схе-а1у регулирования диаметра.

Предмет изобретения,1, Устройство для автоматического регулирования диаметра растущего кристалла в процессе бестигельной зонной плавки, состоящее из оптической системы с фотоприемником контроля диаметра, измерительного прибора и ре5 гулятора, отличающееся тем, что, с целью повышения точности регулирования, оптическая система снабжена приводом слежения за фронтом кристаллизации, причем привод слежения включает фотоприемник фронта криI0 сталлизации, расположенный на проекционном экране, электронный усилитель и реверсивный двигатель, вал которого сочленен с двумя зеркалами, ось вращения которых перпендикулярна линии пересечения плоскостей зеркал.

I5 2. Устройство по п. 1, отличающееся тем. то, с целью устранения влияния загрязнения смотрового стекла на точность регулирования, на проекционном экране дополнительно установлен корректирующий фотоприемник, визн20 рованный на разогретую часть кристалла v. включенный противоположно фотоприемнику контроля диаметра растущего кристалла.