Кольцевой электронно-ионный нагреватель

Кольцевой электронно-ионный нагреватель

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

0 С А Н И Е 279823

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Са«ов Советокик

Социалистических

Респубеик

Зависимое от авт. свидетельства ¹â€”

Заявлено 05Х.1969 (№ 1328405/25-27 ) Кл. 21h, 16/60 с присоединением заявки J¹â€”

Нонитет по депав изобретений и открытий при Совете Министров

СССР

ЧПК Н 05h 1/00

Прио,р.итет—

Опубликовано 26.Vill.1970. Бюллетень ¹ 27 УДК 621.365.91 (088.8)

Дата опубликования описания 25.XI.1970

Авторы .изобретения

Д. А. Носков и А. С. Шангин

Томский институт радиоэлектроники и электронной техники

Заявитель

КОЛЬЦЕВОЙ ЭЛЕКТРОННО-ИОННЬ1Й НАГРЕВАТЕЛЬ

Предмет изобретен itя

Р1звесте««кольцевой нагреватель, содержащий газоразрядную камеру с ц««лн««!дрическнм элек««родом, внутри которого установлен держатель изделия, выполняющего функции второго электрода.

Предложенный нагреватель отличается от ,известного тем, что з газоразрядной камере дополнительно установлены торцовые электроды, подключенные к цилиндрическому электроду и держателю через, разделительные диоды.

Это позволяет повысить к.п.д. при питании пе|ременным .напряжением благодаря автоматическому переключению газоразрядной камеры из режима ионной бомбардировки в режим электронной и наоборот в соответствии с изменением полярности ускоряющего на|пряжения, Благодаря автоматическому переключению торцовых электродов кагреватель,может получать переменное напряжение непосредственно от повышающего трансформатора. Для,очистки деталей, ионной бомбардировкой достаточно подать,на нагреватель отрицательный потенциал.

Устройство схематически изображено IHB чертеже.

Нагреватель состоит иэ кольцевой газоразрядной камеры, образованной цилиндрическим электродом 1 и то рцозь«ми электродами 2, держателя нагреваемой детали 8 и двух вентилей

4,и 5, через которые торцовые электроды подключены к цилиндрическому электроду .ii держателю детали.

Нагреватель,работает з вакууме при 10 - —

104 лл рт.ст. На наружный цилиндр при заземленной нагреваемой детали подают высокое,переменное напряжение. В течение положительного полупериода торцозые электроды оказываются под потенциалом на греза емой детали (сопротивление диода,в проводящем

to направлении невелико) .и образуют с поверхностью детали полый катод. Деталь нагревается под действ«ием интенсивной ионной бомбардировки. В течение отрицательного полупериода тарцовь«е электроходы оказываются под по15 тенциалом цилиндрического электрода и образуют с ним кольцевой полый катод, охватывающий деталь 3, которая нагревается электрон«гой бомбардировкой. В следующие полупериоды благодаря переключению торцовых элек2р тродов деталь поочередно бомбардируют ионы и электроны. Переключающие вентили прп этом пропускают на торцовые электроды ток ионов, составляющий 20 — ЗОО/о от тока между деталью и цилиндрических«электродом.

Кольцевой электронно-ионный нагреватель, содержащий газоразрядную камеру,п ««tuttitЗр дрический электрод, внутри которого устапоз279823

Составитель Е. Сомова

Редактор Б. Б. Федотов Текред Л. Я. Левина Корректор Т. А. Абрамова

Подписное

Заказ 6809 Т.исаж 480

ЦНИИПИ Комитета по дедам изобретеиий и открытий при Совете 1IllH

Москва, К-35, Раушская .иаб., д. 4/5

Областная типография Костромского управлеипя по пеяатп ле!г держатель издел!!я, выполняющего функции второго электрода, отлача!осциакя тем, что, с целью повышения эффект!!Вност!!,наг рева прп питании нагревателя переменным напряжением, в газоразрядно!! камере дополнительно установлены торцовые электроды, подключенные к цилиндрическому электроду и к держателю через разделительные диоды.