Патент ссср 280682

Патент ссср 280682

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

flQl< б.о, о, 280682

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВМДЕТЕДЬСТВУ

Союз Советскив

Социалистическив

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 20.VI.1968 (№ 1248880/26-25) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 03.1Х.1970. Бюллетень № 28

Дата опубликования описания 10.XII.1970

Кл. 21@, 11/02

МПК Н Olt 7/68

УДК 621,382(088.8) Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров

СССР

Авторы изобретения

Г. П. Сергиенко и А. Н. Вивчар

Заявитель

СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ БЕЗЛИНЗОВЫХ РАСТРОВ

Изобретение относится к полупроводниковой промышленности, в частности к способам изготовления фотошаблонов в процессе фотол итогр а фи и.

Известны лучевые и электроэрозионные способы изготовления безлинзовых растров из фольги с:круглыми микроотверстиями диаметром порядка 5 — 20 як.

Эти .способы не ооеспечивают правильной геометрии и идентичности отверстий, а для осуществления их необходимо уникальное оборудование. Кроме того, технологический процесс при этом способе изготовления растров сложен.

Целью изобретения является получение безлинзовых растров,из фольги с идентичными микроотверстиями правильной геометрии .и с ровными краями диаметром 5 — 20 як без применения сложного оборудования, Сущность предлагаемого способа заключается в получении растров путем прошивки от верстий в предварительно натянутой фольге стеклянной иглой конической формы.

Способ позволяет значительно упростить технологию изготовления безлинзовых растров, исключить применение уникального дорогостоящего оборудования и повысить качество изготовляемых растров.

Отверстия в натянутой фольге прошиваются последовательно на координатном столе, при этом игла опускается микрометрическим винтом. По окончании прошивки отверстий

10 фольгу освобождают от натяжного приспособления, Напряженное состояние фольги снимается, что способствует стягиванию краев прошитых в фольге отверстий и повышению пх качества .и чистоты.

Пр едм ет .изобретения

Способ изготовления безлинзовых растров путем прошивки отверстий в фольге, отлипаюитийся тем, что, с целью получения качест20 венпых микроотверстий, фольгу предварительно натягивают, а прошивку микроотверстий осуществляют стеклянной иглой конической формы.