Способ получения рениевого покрытия

Способ получения рениевого покрытия

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

28I735

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №

Кл. 32Ь, 17/06

48b, 11/02

Заявлено 31.!.1968 (№ 1215825/29-33) с присоединением заявки № 1215826/29-33

Приоритет

Опубликовано 14.1Х.1970. Бюллетень № 29

Дата опубликования описания 30.XI.1970

МПК С 03с 17/06

С 23с 11/02

УДК 666.056(088.8) Комитет по делам изооретеиий и открытий при Совете Министров

СССР

СПОСОВ ПОЛУЧЕНИЯ 1ЕНИЕВОГО ПОК1ЫтИЯ

Изобретение относится к способу получения зеркального рениевого покрытия на подложке, например, из стекла, молибденового или кварцевого.

Известен способ получения рениевого покрытия путем восстановления рения водородом из его газообразного соединения, последующего осаждения на подложку и отжига.

Этот способ, однако, не обеспечивает получение качественного покрытия на подложке из стекла, Описываемый способ устраняет указанный недостаток.

Это достигается тем, ITO восстановление рения осуществляют из его трехокиси.

Для получения покрытия на молибденовом стекле восстановление ведут при 350 †3 С, а для получения покрытия на кварцевом стекле — при 550 †5 С.

На фиг. 1 показана труба-реактор, в которой осуществляют ренирование; на фиг. 2 и

3 — схемы температурного режима ренирования соответственно молиоденового:и кварцевого стекла.

Ренирование осуществляют в установке, представляющей собой печь сопротивления, в которую помещена кварцевая труба-реактор диаметром 20 — 22 мм и длиной 400 — 700 лм.

Кварцевая труба-реактор 1 имеет вводы 2 для азота и 3 для водорода, и в нее введена кварцевая ампула 4, в которой помещена кварцевая лодочка 5 с трехокисью ренпя. В держателе б устанавливается стекло 7, подвергаемое ренированию. Внутри кварцевой

S трубы имеются термопары 8 и она снабжена выводом 9 отработанных газов.

Печь для ренирования молибденового стекла выполнена двухзонной, а кварцевого стек10 ла — трехзонной.

Кристаллическую КеОз помещают в лодочку, которая находится в зоне ренирования.

Так как давление паров при температуре ренирования невелико, в качествс газа-носителя

1S используют азот, тщательно очищенный от примесей, особенно кислорода. Скорость подачи азота 20 лл/лин, водорода — 7- — 8 лтл/лгин.

При этом давление водорода в трубе-реакторе намного меньше давления азота в ампуле, 20 что не позволяет идти восстановлению исходной кристаллической трехокпси в твердом состоянии и восстановление происходит только в газовой фазе.

Стекло предварительно подвергают травле25 IIIIIo 8 НГ, промывают водой, спиртом и отжигают в токе азота при 400 С, При проведении процесса ренирования систему наполняют азотом, сооздают необходимый температурный режим, после чего подают водород.

281785

Ф 5 8 76 8

Фига + ооо.т

55О ) ф

g 4о0О гоо

85ОО

Дарго, см Рuг,2 оооо.т с 8оо <5ОО ыо

zo

gno о

5ЗО

Длина, см сРи г.З

Составитель А. Нечаев

Тсхред 3. Н. Тараненко

Редактор Е. П. Хорина

Корректоры: Г. С. Мухина и Н. Л. Бронская

Заказ 3431у7 Тираж 480 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, >К-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2

Длительность процесса 2 — 3 час в зависимости от площади поверхности подложки и требуемой толщины .покрытия.

Полученная описываемым спосооом пленка рения однородна, устойчива при нагревании при температуре 100 С на воздухе, в парах воды, устойчива к действию реагентов, не взаимодействующих с металлическим рением, например органических растворителей (спиртов, бензола, ацетона, серной и соляной кислоты). Плавиковая .кислота также не нарушает целостности рениевого покрытия.

Пр едм ет,изобретения

1. Способ получения рениевого покрытия на подложке, например, из стекла, .путем восстановления рения водородом из его газообразного соединения, последующего осаждения на подложку и отж ига, отличающийся тем, что, с целью повышения качества покрытия, 5 восстановление рения осуществляют из его тр ех окиси.

2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что, с целью получения покрытия на молибденовом

1п стекле, восстановление ведут при 350 — 370 С, 3. Способ по п. 1, отличающийся тем, что, с целью получения покрытия на кварцевом стекле, восстановление ведут при 550 — 580 С.