Библиотека iл1

Библиотека iл1

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОП ИСАН ИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик

За висимое от авт. свилете lbcTBB №вЂ”

Заявлено 18.Х11.1968 (1291494/26-25) Кл. 42/, 3/09 с нрисоединением заявки ¹â€”

Комитет па делам изобретений и открытий при Совете Министров

СССР

Приоритет—

Опубликовано 06.Х.1970. Бюллетень ¹ 31

МПК В 01d 59/44

УДК 621.384 (088.8) Дата опубликования описания 23.1V.!971 . ImJ!e 1 .. 1 " -i.Ä (Авторы изобретения

В. Е. Скурат и Г. В. Карпов

Институт химической физики AH СССР

Заявитель

МАСС-СПЕКТРОМЕТРИЧЕСКИЙ СПОСОБ ОБНАРУ)КЕНИЯ ТЕЧЕЙ

В ВАКУУМНЫХ УСТАНОВКАХ

Изобретение относится к технике вакуумных испыганий. Оно может быть использовано в лаборатор ных и производственных условиях на предприятиях, выпускающих вакуумную или герметическую аппаратуру.

Известный способ обнаружения места течи помощью индикаторных )кидхостей имеет большую инерцио IHocTb, поскольку вакуумная отка чка паров индикаторной жидкости из объема вакуумной установки и канала течи, в,котором индикаторное вещество может ocTBIBBTbся значительное время в жидком состоянии, занимает много времени.

Целью изобретения является снижен че инерционности способа при повторных индикац: ях места течи.

Предлагаемый способ отличается тем, что лрп повторных индикациях места течи после удаления первой жидкости с пробных мест в процессе вакуумной от1качки про должают регистрировать интенсивность линии, масс-спектра этой жидкости, а на пробные места наносят другую жидкость, не содержащую в своем масс-апектре регистрируемой линии. Место течи обнаруживают при попадании на него второй жидкости 110 резкому опаду или увели1ению,и нтенсивности линии масс-спектр а первой жидкости на кривой вакуумной оТкачалки.

В качестве второй жидкосги Mo)KHQ использовать, например, воды йодистого металла

Способ IIlf05PclHHI тся фиг. 1 и 2, Кривые вакуумной откачки при вытеснении одной жидкости другой имеют различный вид.

5 в за висимости от момента времени, в который наносится вторая жидкость. Если при нанесе1:ии второй жидкости в канале течи еще содер)кится первая жидкость, то на кривой ее вакуумной откачки обнаруживается характерный «выброс» iñì. фиг. 1), Если же канал течи не перекрыт первой жидкостью, но она осталась в виде сорбированного слоя на стенках канала, то в результате закрытия этого слоя .второй жидкостью íà кр ивой от15 качки пер вой жидкости наблюдается резк.;1й

c»az (см. фиг. 2).

В одном случае (см. фиг. 1) первой жидкостью являл ся ксилол (регистрировалась линия с ма осой 91); в другом случае — (см. фиг. 2) метанол; в качестве вытесняющей жидкости применялся нонан. Величины на оси у даны в логарифмическом масштабе. Измерения производились на масс-спектрометре

МХ-1303 с капиллярным натекателем, поток воздуха через который составлял 3.10 6 л/мксек.

В соответст вит1 с п ре!дла гаемым апоеобом тс3ð чи обнаруживают следующим образом.

283669

Ю Яа 2д 150 Юре чл, сы

%i>g, У

На прооные места испытуемой вакуумной установки, соединенной с масс-спектрометром, наносят первую жидкость. При этом непрерывно регистрируют одну из наиболее интенсивных линий масс-спектра этой жид кости. Течь обнаруживается по увеличению интенсивности линии масс-спектра.

Для fIlOIBT oðHîé индижац ии течи и угоч не1пия ее места, первую жидкость удаляют и на пробные места начинают наносить вторую жид кость, линии масс-спектра которой не накладываются на .регистрируемые липин, следя при этом за интенсивностью линии масс-спектра первой жидкости. На кривой вакуумной откачки первой жидкости при попадании второй жидкости на место течи появляется .выброс или спад, что служит сигналом обнаружения места течи.

П р е д м е т и з о б р е т е.н и я

Масс-,спектрометричеокий способ обнаружния течей в вакуумных установках, при кото5 ром на пробные места наносят индикаторную кидкость и производят регистрацию интенсивности линии ма сс-спектра этой жидкости, а при повторных индикациях места течи наносят вторую инди катор н ую кидкость, отличаю10 сиийсл тем, что, с целью снижения,инерционности способа при повторных индикациях мста течи, при нанесении второй жидкости цроизводят непрерывную регистрацию интенсивности линии масс-спектра первой жидкости, а

15 место течи обнаруживают при попадании на него второй жидкосги по режому спаду или увеличению интенсивности линии первой жидкости.

283669

2. 45

7,5

4ее я, сел.

=1т "I: 7948

Тираж 480

Подписиэ

ЫгПИПИ Комитета по делам HaoopmeHHIH и открыпий пр11 Сонете Ми:-иьстроз СССР

Москва, 7К-35, Раушская чао., д. 4/5,00лсстная типосрафия КостоомОКОГО t) ï<÷ÿÂ IÑH|HH allo пеяатн.

Составитель Н. В. Алимова

Редактор, Т. 3. .Орловская Текред А. А. Камышникова Корректор Л. А. Царькова