Способ получения электроизоляционной пленки
Иллюстрации
Реферат
Йтзесо птенец я иатентно-" - .": " "" О П "И С- А" Н -И Е
ИЗОБРЕТЕНИЯ
283766
Союз Советских
Социалистических
Республик
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Зависимое от авт. свидетельства №вЂ”
Заявлено 12.VI.1969 (№ 1336473/26-9) с присоединением заявки №
Приоритет
Опубликовано 06.Х.1970. Бюллетень ¹ 31
Дата опубликования описания 15.XII,1970
Кл. 48а, 9/02
Комитет по делам изобретений и открытиЯ лрн Совете Министров
СССР
МПК С 23Ь 11/00
УДК 621.357.8(088.8) Авторы изобретения
Н. А. Сибирякова и С. И. Зорина
Заявитель
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ЭЛЕКТРОИЗОЛЯЦИОННОЙ ПЛЕНКИ
НА АЛЮМИНИИ
Предмет изобретения
Изобр етен1ие относится к электронной, полупроводниковой .и радиотехнической прюмышленностям и может найти применение при изготовлении тонкопленочных полупро водтвиковых интегральных и печатных схем.
Известен способ получения нагрево стойкой электр оизоляцио)нной пле нки AIF> на поверхности алюминия при воздействии на него газ о о бр аз ного фтор а или фтор истого в одор ода при температуре 500 С.
Недостатки этого способа заключаются в агресс ив ности,и токсичности F и HF и высокой температуре обраоотки изделий.
С целью устранения указанных н едостатков, согласно пр едлатаемому cIIioaooy, электроизоляционную пленку получают анодной обработкой алюминия при температурке 40—
45 С и напряжении 30 в в электролите, содержащем (в г/л): натрий фтор и,стый 80 — 120 калий фтористый 80 — 120 кал ий фтор истый иислый 80 — 120
Распвор готовят внедрением в нагретую до
40 — 45 С дистиллированную воду 80—
120 г/л фтористого калия, 80 — 120 г/л фтористого натрия и 80 — 120 г/л фтористого кислого калия.
Алюминиевые детали или проводники, подлежащие покрытию пленкой фторида алюминия, помещают в приготовленный раствор, имеющий температуру 40 — 45 С, так чтобы
5 они контактировали с анодом. Катодом при этом служит графит. На изделие подают напряжение 30 в. Время обработки 7 — 10 мин.
Образующаяся пленка фторида алюминия имеет поликристаллическую структуру, толщи10 ну 1 — 15 лк, высокую сплошность, твердость и эластичность, пробивное напряжение 350—
400 кв/лтм, прочно сцеплена с металлом, выдерживает нагрев до 500 — 550 С, не подвергается действию кипящей воды и растворите15 лей.
Способ получения электроизоляционной
20 пленки на алюминии в виде фторида алюминия, отличающийся тем, что, с целью упрощения и снижения токсичности процесса, алюминий подвергают анодной обработке в электролите, содержащем (в г/л):
25 натрий фтористый 80 — 120 калий фтористый 80 — 120 калий фтористый кислый 80 — 120 при напряжении 30 в и температуре 40 — 45 С.