Способ изготовления пьезоэлементов кварцевых резонаторов

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

О П И С А Н И Е 284054

ИЗОБРЕТЕ Н Ия

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Соеетскиа

Социалистическиа

Республик

Зависимое от авт; свидетельства ¹â€”

Заявлено 29.111.1969 (¹ 1315296 26-9) Кл, 21а, 10 с присоединением заявки М—

МПК Н 04r 17/00

Комитет по делаю изобретений и открытий при Совете Чииистров

СССР

Приоритет—

Опубликовано 14.Х.1970. Бюллетень ¹ 32

3 ÄK 537,228,1 (088.8}

З,ата опубликования описания 28.IV. I 971

Авторы изобретения

М. И. Ярославский, И. К.-И. Пекарь и А. П. Федорков

Ь="..

1 . "11;

Заявитель

СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ПЬЕЗОЭЛЕМЕНТОВ

КВАРЦЕВЫХ РЕЗОНАТОРОВ

П р едмет и зобр етения

Изобретение относится к области технологии изготовления пьезоэлектрических элементов кварцевых резонаторов, в частности кварцевых резонаторов с линейной температурночастотной характеристикой, которые применяются в качестве датчиков тем|пе|ратуры о (ружающей среды в приборах, использующих термочастотные способы измерения температуры, например в прямопоказывающпх цифровых электронно-счетных термометрах или в системах автоматического регулирования, в которых вводимым параметром является частота электрических колебаний.

Известны способы изготовления пьезоэлементов кварцевых резонаторов с линейной температурно-частотной хара|ктеристикой, в которых используются кварцевые пластины, вырезанные из и сходного кристалла таким образом, что пара их,наибольших граней оказывается повернутой против часовой стрелки на угол 9 23 34" вокруг электрической оси Х кварца, а также на угол +-11 9 58" вокруг оптической оси Z кварца от.плоскости, определяемой обеими указанными осями Х и Z (плоскости XZ). Ориентированные под такими углами кварцевые пластины называются плас= тинами среза LC.

Недостатком LC-среза является то, что для получения действительно линейной температурно-частотной характеристики (c точностью до бесконечно малых величин четвертого порядка) пьезоэлементы этого среза выполнены с погрешностью угловой ориентации, не превышающей 20 — 30" указанное условие именно для этого среза в настоящее время нс может быть обеспечено на практике, поскольку при характеризующем срезе 1.С сочетании значени Й углов даже лучший о те че:тВен ны и р е н тгеногониометр ДРК вЂ” 2 дает погрешность изме1п рений в .пределах от 5 до 10 .

На чертеже изображено расположение срезов относительно кристаллографических осей

;;,v,z.

С целью обеспечения высокой точности орп15 снгировки пьезоэлеметрического элемента относительно кристаллофизическпх осей по предлагаемому способу из исходного монокристалла кварца вырезают пьезоэлемент, его базовую плоскость в точности совмещают с атом2О ной плоскостью кварца 1451, угол наклона которой относительно оптической оси Z равен

9 44 51", а относительно электрической оси Л составляет 10 53 36".

Способ изготовления пьезоэлементов кварцевых резонаторов с линейной температурночастотной характеристикой, заключающийся

ЗО в том„что из исходного монокристалла квар-284054

Составитель E. Хвощева

Тегеред T. П. Курнлко Корректор Л. Б. Бадылаяа Редактор Н. В. Суханова,,Заказ 7946 . Тираж 480 Подписке

ЦНИИПИ Ковгятета .по делам изобретений и открьгпий при Советике Минкст ров СССР, Москва,.7К-35, Раушакая иаб., д.. 4/5

Областная тнпография Костромского управления по печати иа вырезают пьезоэлемент, базовую плоскость которого поворачивают вокруг оптической оси Z и вокруг электрической оси Х от плоско,сти XZ, определяемой упомянутыми осями, аулпчп>ощайся тем, что, с целью обеспечения высокой точности ориентировки, базову;о плоскость элемента в точности совмеща|от с атомной плоскостью кварца 1451, угол наклоIiB которой относительно оптической оси Z равен +9 44 51", а относительно электрической оси Х составляет 10 53 36".