Машина для вакуумной обработки и изготовления

Машина для вакуумной обработки и изготовления

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОПИСАНИЕ 284I92

И ЗОБРЕТЕ Н ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Сома Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. câèäåòåëüñòâà тхЪ—

1(л. 2) g 29/40

Заявлено 25.1.1969 (№ 1305417/26-25) с присоединением заявки _#_o—

Комитет па делам изобретений и открытий при Совете Министров

СССР

МПК H 0) j 9/48 х ДК 621.303.2.217 (088.8) Приоритет—

Опубликовано 14.Х.1970. Бюллетснь х>> 32

Дата опуоликования описания 23.)V.1971

Авторы изобретения

А. А. Ковалев, С. И. Бродский, Л. Л. Хаскович, И. H. Зайдель и Г. В. Лукьянов

ВСЕСОН )ЗНАЯ

Г;T.k;!;..:-,, 1йГ."".",QE

3,а"Дя в и тель

МАШИНА ДЛЯ ВАКУУМНОЙ ОБРАБОТКИ И ИЗГОТОВЛЕНИЯ

ФОТОКАТОДОВ ЭЛЕКТРОННООПТИт)ЕСКИХ

ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЕЙ

Изобретение относится к области производства фотоэлектронных приборов с многослойными фотокатодами, например электроннооптпческих преобразователей.

Известна машина для вакуумной обработки 5 электровакуумных приборов, например электроннолучевых трубок, выполненная в виде замкнутого конвейера, снаб>кенного приводом периодического перемещения, тележками с устройствами для установки, откачки и обез- 10 гаживания изделий и шинной системой для подачи электрического питания на перемещающиеся изделия. Причем шинная система выполнена в виде одного ряда шин, разбитых на отдельные, изолированные один от другого 15 участки, длина которых определяется длительностью технологической операции ка>кдого участка. Так как характер и время выполнения этих операций являются постоянными для каждого обрабатываемого изделия, то посто- 20 янная связь изделий, установленных на тележках, может осуществляться при помощи щеток на одном участке шинной системы,в течение любого числа циклов машины.

Эта машина, однако, не может быть исполь- 25 зована для вакуумной обработки и изготовления фотокатодов электроннооптических преобразователей, технологический процесс изготовления которых характеризуется большой длительностью ряда операций и отсутствием З0 воспроизводимости по времени и характеру этих операций от изделия к изделию. Например, при изготовлении мультищелочныx катодов время непрерывной обработки парами одного металла, до получения заданной чувствительности, составляет 10 — 40 мин, а обработка парами других .металлов не прсвышает 3 мин.

Цель предложенного изобретения — — разработка такой многопозиционной машины конвейерного типа для вакуумной обработки и изготовления мультищелочных фотокатодов, которая позволит обеспечить непрерывное вынолнение технологических операций с большой длительностью и изменяющимися от изделия к изделию параметрами как по времени, так и по характеру процессов.

Эта цель достигается за счет того, что шинная система машины выполнена в виде двух автономных вертикальных рядов шин, разбитых на отдельные части по длине в отношении 1:2. С одним из рядов соединена посредством щеток любая предыдущая, а с другим— любая последующая тележка и к каждому из них подключены на каждом участке измерительные блоки и блоки программного управления.

При этом на участках выполнения технологических операций с длительностью, превышающей двойной цикл машины, каждый предыдущий и последующий блоки программного

284192 управления связаны с измерительным блоком через переключающее устройство, отключающее:в момент окончания двойного цикла:каждый блок программного управления от одного измерительного блока и подключа|ощсс I(другому.

На фиг. 1 изображена машина в двух проекциях, общий вид; на фиг. 2 — шинная система машины.

Машина вы полнена в виде замкнутого конвейера, с одной стороны которого имеется нривод 1, с другой — натяжная станция 2. Тя овым органом является цепь 8, с которой ш IpHHpHo cIIHBBHl Tc IeiI(I(II 4, песу IIIие изделия.

Общее количесгво тележек в машине 62, причем две из нпх имеют водяные насосы, служащие для подачи воды в центральную труоу, из (Оторой QHB самотеч(ом поступает В кажду!О тележку HB. Охлан(денис Высоковакъ \ много насоса. Около каждого участка проведения отдельной технологической операции, в непосредственной близости от рабочего места 5 установлен измерительный блок.

Вдоль всей трассы машины установлены два автономны, вертикально расположенных ряда ш и н б, разбитых на учасч1к и вьдполнения технологических операций с максимальной длительностью 10, 20 и 40 мин. С верхним рядом шин связана посредством щеток любая предыдущая тележка 7, а с нижним — любая последующая тележка 8.

На участках выполнения технологических опер ацпй с максимальной длительнос гью

10 мин установлены короткие шины б, длина которых обеспечивает непрерывную,пода ry электрического сигнала .в течение 10 лшн.

Шины 9 на участках 20- и 40-минутной длительности имеют вдвое большую длину.

На каждом у.частке к шинной системе под,соединен измерительный блок 10 и блок программного управления 11.

Щеточная система четных и нечетных тележек смещена относительно друг друга по высоте. На позициях машины, где выполняются технологические операции, длительность которых может составлять 40 мин, т. е. равная четырем циклам машины, установлены два измерительных блока 10. которые с од ной сторочы через шинно-щеточную систему подключены к обрабатываемому изделию, а с другой стороны через контакты 12 переключателя 18 — к двум блоками .программного управления.

Переключающее устройство 18 .выполнено в виде транзисторного триггера, в коллекторную цепь которого, включены обмотки электромагиитов д иста нциан наго 12 I(oHeaa(IIHoro ноля р и3oванного цереключателя. Запускающие импульсы подаются. на базу триггера от концевого выключателя 14, установленного на трассе машины в конце каждой двойной шины, который:взаимодействует с кулачком, закрепленным соответственно на каждой четной и нечетной тележ ках. Дистанционный переключатель своимп контактами 12 подключен к измерительному блоку 10, B его последующие

35 10

60 переклю гающис контакты связаны с блоком программного управления 11, выход которого через такие же контакты 12 переключателя подключен к входу блоков исполнительных реле 15, связанных через шинно-щеточную систему с обрабатываемыми изделиями. Каждый блок программного управления подсоединен к блоку запрета включения привода конвейера

lб, который подает команду на его включение только в момент оконча ния те:(нологи Ieских операций на всех участках.

После подсоединения изделия к вакуумной системс на первых позициях его откачивают до высокого вакуума (1.10 — торр.) и обезгаiKIIBBIoT путем нагрева,в печи при температуре примерно 380 С, Затем начинают процесс изготовления фотокатода путем многократного г оследовательного IHBпыления на подложку слоев сурьмы при одновременной обработке ее парами щело IHblx металлов. чувствительность изделия изменяется по мере формирования фотокатодов. Пропорционально этой чувствительности с выхода измерительных блоков 10 через контакты триггерного переключателя 18 подается напряжение на блоки программного упра>вления, которые обеспечивают слежение за характером изменения чувсгвительности фотокатода. Блоки программного управлсния 11, описывающие заданные технологические процессы, выдают необходимые сигналы через контакты переключателя 18 на блок исполнительных реле 14, ко порые через шин но-щето иную систему IIIoдают, различные напряжения на обрабатываемый фотокатод, а после завершения цикла обработки, т. е. после получения заданного характера изменения чувствительности фотокатодов, подают сигнал на окончание цикла. Напозиции выполнения технологичеаких операций с длительностью до 40 мин. при перемещении конвейера конечный выключатель 14 срабатывает от кулачка, закрепленного на тележке, и;подает сигнал .на переключающее устройство 18, которое размыкает свои левые контакты 12» замыкает правые контакты.

При этом, левый измерительный блок 10, перед этим подсоединенный к левому блоку программного управления, будет подключен и правому блоку программного управления, а правый измерительный блок — к левому блоку программного управления.

Таким образом, каждый блок программного управления соответственно четной и нечетной тележки остается подключенным к одному изделию в течение 4-х циклов машины.

Одновременно при .перемещении конвейера производится переключение левого и,правого блоков исполнительного реле 15, соответственно от левого и правого блоков программного управления.

Предмет изобретения

Машина для вакуумной обработки и изготовления фотокатодов, электроннооптическпх

284192, преобразователей, Выполненная В Виде за .1 .Кнутого конВеиера, снаоженнОГО прпВОдом периодического перемещения, тележками с устройствами для уста нонки, откачки и обезгаживания изделий и шин ную систему, разбитую

IIa отдельные, изолированные друг от друга участки в соответствии с операциями технолоГического процесса, Отличающаяся тем, что, с целью обеспсчеш1я возможности непрерывного выполнения длительных технологических .операций с пзменгпощимися параметрами от изделия к изделию, шинная система машины выполнена з виде двух автономных, расположенных вертикально, разбитых на отдельные аст:I по длине в отношении 1:2, рядов шин, с одним из которы.; соединена посредств.>м щеток любая предыдущая, а с другим — люОая последу10щая тележка и к каждом, из которых под ключены II3 каждом 1астке измс5 рительчые блоки и блоки программного управления, причем на участках выполнения технологических операций с длительностью, превыIL\à10ùåé двойной цикл машины, каждый предыдущий и последующий блок и программного

10 управления связаны с измерительным блоком через переключающее устройсгво, отключающее в момент окончания двойного цикла каждый блок программного управления от одного измерительного блока и подключающее к дру15 гаму.

284192 авиа 2

Составитель В., Л. MHpoBlKHHR

Редак:гор Т. Рыбалова Текред Т. П. Курилко Корректор Т. А. Джаманнулова

Тираж 480

Подписное

Заказ 7948

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий пргн Совете Мини„-.тров СССР

Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Областная типография Костромокого,уира зле.ия rlo и. ча1ц