Способ осаждения металлов
Иллюстрации
Реферат
О Il И C,,, . Н И Е
ИЗОБРЕТЕНИЯ
СОЮЗ GOBBTCKHX
Социалистических
Республик
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
За висимое от авт. свидетельства №
Заявлено 08.Х.1962 (№ 797574/22-1) Кл. 48b, 17/00 с присоединением заявки ¹
Приоритет
МПК С 23с 17/00
УДК 621,793.14 (088.8) Комитет по делан изобретений и открьпий при Сосете Мииистроо
СССР
Опубликовано 14.Х.1970. Бюллетень № 32
Дата опубликования описания 9.II.1971
Авторы изобретения
А. Д. Бондарь, В. Г. Егорычев, С, А. Емельянов и А. А, Розен
Физико-технический институт AH Украинской ССР
Заявитель
СПОСОБ ОСАЖДЕН ИЯ МЕТАЛЛОВ
Изобретение относится к способам осаждения металлов, например, при нанесении покрытий, получении тонких пленок и мишеней для физико-химических исследований.
Известен способ осаждения металлов путем понизации паров соединений металлов в электростатическом поле. Но ионизацию осуществляют радиоактивными препаратами, что затрудняет регулирование скорости процесса осаждения и требует подогрева подложек.
Предлагаемый способ устраняет указанные недостатки и позволяет регулировать скорость процесса осаждения металлов на неподогреваемые подложки. Осаждение металлов осуществляют путем ионизации паров соединений металлов в высокочастотном разряде в электростатическом поле.
При осушествленпп способа может использоваться ооычная вакуумная установка. На образец подают отрицательный потенциал порядка 500 — 2000 в и включают высокочастотный генератор. На внутренней стороне расположенных в камере электродов генератора закрепляют подложки. Предварительная откачка вакуумной камеры до остаточного давления 10 япт рт. ст. практически исключает загрязнение пленки продуктами ионизацнц остаточных газов. Путем изменения частоты и мощности высокочастотного разряда регулируют скорости процесса ионизации паров
10 соединений металлов.
Способ может использоваться для нанесения покрытий на проводники и диэлектрики.
Предмет изобретени я
15 Способ осаждения металлов путем ионпзацип паров соединений металлов в электростатическом поле, отлнча>ои1ийся тем, что, с целью регулирования скорости процесса осаждения на неподогреваемые подложки, иониза20 цию паров осуществляют в высокочастотном разряде.