Способ юстировки тонкопленочных резисторов
Иллюстрации
Реферат
ОПИСАН ИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Советских
Социалистических
Реопубпик
Зависимое от авт. свидетельства ¹
Кл. 21с, 54/05
Заявлено 15. т .1968 (№ 1239411/26-9) с присоединением заявки ¹
МПК H Olc 7/00
УДК 621.316.849 (088.8) Приоритет
Опубликовано 19.XI.1970. Бюллетень ¹ 35
Дата опубликования описания 28.1.1971
Номитет по делам изобретений и открытий при Совете Миииотроа
СССР!
Г
Авторы изобретения
Г. Ф. Васильев и Г. В. Корнеева
Заявитель
СПОСОБ ЮСТИРОВКИ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ РЕЗИСТОРОВ
Предмет изобретения
Известны способы юстировки тонкопленочных резисторов путем анодного окисления резистпвного слоя с одновременным контролем номинала.
С целью повышения точности юстировкп и 5 обеспечения возмохкности ее автоматпзац:Ill по предлагаемому способу на резистивный слой помещают каплю электролита, в которую вводят игольчатый зонд, соединенный с источником тока. 10
Предлагаемый способ юстировки осуществляется следующим образом.
На тело тонкопленочного сопротивления помещают каплю электролита, которой касается остро заточенный зонд. 15
Капля электролита, зонд и один конец сопротивления включаются в цепь источника рабочего тока. Само сопротивление замеряегся во все время доводки. Измерительная п питающая цепи отделяются одна от другой 20 сиобым пз известных способов (используя полупроводниковые вентили, илп производя измерение сопротивления на переменном токе и т. д.). Сама капля практически не влияет на величину сопротивления, как по причине 25 своего малого размера, так и потому, что вскоре после начала окисления шунтирующее действие капли устраняется образовавшейся непроводящей пленкой под ней. В качестве исходного резистпвного слоя могут быть использованы тонкие пленки металлов и их соедпнешш, допускающие образование достаточно прочных окисных пленок на своей поверхности.
Предлагаемый способ не требует специального оборудования (кроме точных измерптельElûх мостоB), прост в осуществлении, позволяет получить высокоточные резисторы в многослойных микросхемах.
Способ юстировкп тонкопленочных резист3р03 путем анодного окисления резпстнвного слоя с одновременным контролем номинала, отлича ощийся тем, что, с целью повышения точности юстировки резисторов и обеспечения возможности ее автом атпзации, на поверхность резпстивного слоя помещают каплю электролита, в которую вводят игольчатый зонд, соединенный с источником тока, другой конец которого присоединяют к одному из концов резистора.