Испаритель для вакуумных установок

Испаритель для вакуумных установок

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

О П И С А Н И Е 2874 93

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСИОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №

Кл. 48Ь, 13/12

Заявлено 19.IX.1969 (Л" 1361996/22-1) с присоединением заявки ¹

Ковтитет по лелем изобретений и открытий при Совете Мииистров

СССР

МПК С 23с 13/12

УДК 621.?93.14.002.51 (088.8) Приоритет

Опубликовано 19.Х1.19?0. Бюллетень № 35

Дата опубликования описания 14.1.1971

Авторы изобретения

Ю. А. Радионов и Э. И. Сандлер

Заявитель

ИСПАРИТЕЛЬ ДЛЯ ВАКУУМНЫХ УСТАНОВОК

Изобретение относится к области нанесения вакуумных покрытий.

Известен испаритель для вакуумных установок, содержащий тигель, нагреватель и токоподвод.

Предлохкенный испаритель отличается от известного тем, что для получения равномерных покрытий тигель установлен на оси сателлитной шестерни планетарного механизма, а нагреватель укреплен на шатуне кривошипно-шатунного механизма, кривошип которого является одновременно водилом сателлитной шестерни.

На чертеже показан описываемый испаритель.

Он состоит из тигля 1, нагревателя 2 и токоподвода 8. Тигель расположен на оси 4 сателлитной шестерни б планетарного механизма, включающего также неподвижную шестерьно б водила 7. Нагреватель 2 укреплен на шатуне 8 кривошипно-шатунного механизма, кривошип которого является водилом 7 сателлитной шестерни. Один из концов нагревателя 2 заземлен, а другой соединен токоподводом 8 с источником питания.

При вращении водила 7 тигель 1, обкатывая шестерню б, вращается вокруг своей оси.

5 В это же время нагреватель 2 при неизменном кольцевом зазоре относительно тигля 1 совершает круговые движения. Благодаря заданному движению, исключающему вращение нагревателя 2 вокруг своей оси, можно без

1О скручивания токоподвода 8 обеспечить надежное энергопитание испарителя, что позволяет получать равномерные покрытия.

Предмет изобретения

Испаритель для вакуумных установок, содержащий тигель, нагреватель и токоподвод, от.гичаюи/иггся тем, что, с целью получения равномерных покрытий, тигель установлен на

20 оси сателлитной шестерни планетарного механизма, а нагреватель укреплен на шатуне кривошипно-шатунного механизма, кривошип которого является одновременно водилом сателлнтной шестерни.

287493

Составитель И. Резник

Редактор H. Корченко Техред А. А. Камышникова Корректор Т. А. Джамаикулова

Заказ 3892/15 Тираж 480 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4 5

Типография, пр. Сапунова, 2