Устройство для передачи поступательного движения в вакуумированный объем

Устройство для передачи поступательного движения в вакуумированный объем

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

О П И С А Н И Е 289242

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

6о!оа Соеетоиии

Социо!!!!оти ;еоиих

Реоптоли,!!

Зависимое от авт. свидегельства ."«е.,!! фа@!

Заявлено 28.Х11.1967 (¹ 1206529 26-25),ЧП1«, F 16! 15152 с присоединением заявки ¹

Приоритет

Коиите! по делам изоорете!!ий и атирыти!1 при Сооете: иииотрое

CL" GP

УД!, 62-762(088.8) Опубликовано 08.Х11.1970. Б!Ол.четень ¹ 1 за 1971

Дата опубликования описания 10.П.1971

Авторы изобретения

Е. А. Деулин, 1О. А. Хруничев и Г. А. Шаумян

Московское высшее техническое училище имени Баумана

Заявитель

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПЕРЕДАЧИ ПОСТУПАТЕЛЬНОГО

ДВИЖЕНИЯ В ВАКУУМИРОВАННЫЙ ОБЪЕМ

Предмет изооретсния

Изобретение относится fK техно.чогическому оборудованию элсктровякуумного и полуироводниковото производства и может быть >!спользовапо для перемещения заслонок и масок в íàllbl;. HòåëhHû; установках, подвижных элементов в клапанах, вентилях, устройствах гдля персжима штенгеля !после откачки элсктровакуумных приборов и т. д.

Известно устройство для:передачи поступательного движения в вакуумную камеру, со дер>кащее шток и сильфон. В этом устройстве при движен«!и испслнительного органа под углом к штоку закон .движения искажается, особенно при наличии проме>куточных звеньев. 15

Целью изобретения является передача заданното закона движения ведомому звену.

Для этого в предложенном устройстве шток выполнен полым и заполнен рабочей средой, передающей от задающего устройства дви>ке- 2р ние на толкатель. Толкатель установлен одним .концом внутри штока, а другим концом соединен герметично и вакуумноплотно с нспод ви>!«ным участком штока, ряс поло>кенным внутри вакуумкрсванного объема.

Ня черте>! е пзобрь>r

Устройство выполнено !в виде полого штока 1, гермети«но закрепленного !в стенке каме- 30 ры 2 с помощью псрсходного фляпця,> и сил!эфоня т. Внешн!!й Онсц LLIYoii;! 1 связ<1н с зядя!Ощим требуем! !!! Закон дь!!.! сипя устройством (па чертеже ие показано). Внутри полого штока 1 p ac!;Oложено рабочее тс:!сь например шар .гк.l 5, воздс!!ству!Ощ!!с HH цилиндрически!! толкятель 6, входящ!Нй одним концом внутрь штока 1. Другой конец толка-!еля через спльфснi 7 герметич,о и э. !>!с!!!1!Но св5!3ян с неподвижно закрсплениым концом штОкя 1, рас;!Олo>кенпbD! ЗпуTpli вя ку> мно!! камеры. В технол>ги !еских целях coe3!Ir;efflfe толкателя со !н!хам выполнсно разьемным с

lIIoAIoIIlbIo флачце3 8, 9, !>ро!«г!адни 1с> и гайки 11, причем фля! ец 8 жестко зякре !Ясkl в опоре 12>. ,С!. !Я КИНЕi! ! II !ССКСГО 3>le!I!НЯНИН ментов шарикового,пере го:filo! механизма и компенсзц:r.! аЯт мосфсрного д;!влепи!!, дейстьующс-,о пя толкатсль, применена !!ру>кипя 1>. Изобрет.".:!:!с сбесне швяет то !!100 воспроизведение зядя!шогс закона движения,;!ередавяемого ис.!злнитсльному орг rffh., Iiplliloì эле.;!снты IHL, >еда-lfi ньяимод«йствук! г меж су с О 0 О! 3 я т м 0 !! е > ы i c. I o ! я х, 1. Устройстзо для гереда и поступательного движения в вакуумированный объем, со7 9 70 /) Д

Составитель В. 11. Трошкина! едактор Т. 3. Орловская T(вред A. A. Каиышгикова 1(орректорип А. Абрамова и а4. Коробова

Заказ 122,5 Тираж 480 Г1одписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Я(-35, Раушская наб., д. 4, 5

Типография, пр, Сапунова, 2 держащее шток и сильфон, отличающееся тем, что, с целью передачи заданного закона движения ведомому = ;ç.åíó, шток выполнен полым и заполнен рабочей средой, передающей от задающего устройства д вижение на ToflKQтель,,входящий внутрь штока одним концом и соединенный другим концом эластично и вакуумноплоTII3 с непс двихкHûì участком штока, расположенным внутри ва куумированного объема.

2. Устройсгво по п. 1, отличающееся тем, 5 ",то в качестве рабочей среды, заполняющей

IIIToiK, применены шарики, а толкатель cHBGжен пружиной.