Способ получения светочувствительных материалов

Способ получения светочувствительных материалов

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

О п И С А Н И Е 289389

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Соеетскиа

Социалистическиз реоотблик

Зависимое от авт. свидетельства Л

Заявлено 14Л I 1969 (¹ 1305261/23-4) с присоединением заявки ¹â€”

Приоритет

МПК G 03f 1/00

Комитет по делам изобретений и открытий ори Сосете Министров

СССР

Опубликовано 08.Х!1.1970. Бюллетень ¹ 1 за 19, 1

Дата опубликования описания 1.11.1971 Д К 773. 712: 77.021..1(088.8) Лвторы изобретения Ю. С. Боков, H. С, Малышова, В. Н. Егорова, В. П. Лаврищев, Н. В. Макаров, В. С. Корсаков и В. Г. Никольский

Заявитель

СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ СВЕТОЧУВСТВИТЕЛЬНЬIХ МАТЕРИАЛОВ

Изобретение касается способа получения светочувствительных материалов, применяемых в электронной промышленности для изготовления твердых схем, транзисторов, пленочных пассивных элементов и печатных схем.

Известен способ получения светочувствительных материалов, заключающийся в том, что на подложку наносят светочувствительный слой, включающий эфир нафтохинондиазидсульфокислоты и дифенилоксидно-фенолформальдегидной смолы.

Этот материал обладает удовлетворительной светочувствительностью, высокой разрешающей способностью.

Однако в ряде случаев от фоторезистов требуется значительно более высокая адгезня к металлам, к действию травителей (например в мезотехнологии при травлении кремния требуются большая термостойкость, щелочестойкость и лучшие пленкообразующие свойства прн сохране удовлетворительной светочувствительности).

Цель изобретения — получение светочувствительного материала с высокой адгезпей к металлам, высокой кислото-, щелочестойкостью и термостойкостью.

Эта цель достигается тем, что светочувствительный материал получают нанесением на подложку светочувствительного слоя, включающего эфир нафтохинондиазида и фенолфталеин-формальдегпдной смолы. В светочувствительньш слой может быть введено полимерное связующее, например фенол-формальдегндная смола.

Фенолфталепн-формальдегидная смола отличается повышенной адгезией к металлам, лучшими пленкоос разующпми свойствами и более высокой термостойкостью. Кроме того, использование прп изготовлении фоторезистов

10 производных фенолфталеин-формальдегпдных смол позволяет применять в качестве растворителя не только дпоксан, но и более широкий круг растворителей, что также улучшает пленкообразующпе свойства фоторезистов.

Светочувствнтельность данных фоторезпстов достаточна высока, находится на уровне фоторезпстов HB основе галоидированных феklîë-форм альдепiдHых смол.

20 Фенолфталепн-формальдегпдные смолы способны при температуре 120 — !30 С к дополнительному сшпваншо, что определяет пх значительно более высокие защитные свойства (кпслото- и щелочестойкость).

25 В связи с улучшенными технолопгческпмн параметрамп полученных по этому способу фоторезистов область их использования значительно расширяется. Например, появляется возможность увеличения глубины травления

30 кремния.

289389

Предмет изобретения

Составитель Э. Рамзова

Корректор О. С. Зайцева

Редактор Н. Вирко

Изд. № !О Заказ 4030!6 Тираж 480 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Мпнпсгров СССР

Москва, Я-35, Раушскаи наб., д. 4>5

Типография, пр. Сапунова, 2

Предлагаемые составы могут быть испо Ibзованы в гальванических процессах осаждения меди, пикеля, хрома, серебра при условии, если р1-I электролитических ванн равен

9 — 10.

Пример 1. К раствору 17,8-"1 г фенолфталеин-формальдегидной смолы и 20.87 г суль. фохлорида о-нафтохппопдиазпда ь 120 лл дпоксана прп температуре 40 С прикапывают в течение 3 час 40 л л 10%-ного водного раствора соды до появления устойчивой слабощслочпой пеакции на ориллиаптов > ю желтуlo бумагу (рн 7). Перемешпвание продолжают еще 2 чав при 40 С. Далее раствор охлаждают и выливают в 1 л воды, подкисленной соляной кислотой. Осадок сульфоэфира желтого цвета отфильтровывают, промывают водой и сушат до постоянного веса.

10 г сульфоэфира о-нафтохипондиазида и фенолфталеин-формальдегидпой смолы и 10 г фснолформальдегидной смолы растворяют в

85лл смеси растворителей, содержащей (B о>o): этплацетат 10, пзо-амилапетат 20, мопометиловый эфир ацетатгликоля 50, циклогенсанон

20. Раствор фильтруют и наносят на очищенную поверхность кремниевой пластины (на пентрифуге). Образующуюся пленку сушат при 90 — 95 С в течение 15 вин.

Толщина покрытия 1,5 л.к. Затем пленку фоторезиста экспонируют через фотошаблон с определенным рисунком под лампой

ДРШ-250 с коллиматором в течение 20 сек.

Облученные участки вымываются при обработке покрытия проявителем (5%-ный раствор тринатрийфосфата, содержащий поверхностноактивное вещество).

После проявления, промывки водой и сушки на воздухе при температуре 100"C в течение 10 лик пленку прогревают при 120 †1 C в течение 20 мин.

Последующее травление кремния позволяет получать рельеф глубиной 100 †1 лк.

Пример 2. Сульфоэфир получают аналогично примеру 1.

10 г сульфоэфира о-пафтохинондиазпда и фенолфталеин-формальдегидной смолы и 15 г фенолфталеин-форм альдегидной смолы растворяют в 85 лл смеси растворителей, содержащей (в %): этплацетат 1О, бутплацстат 20, 10 метилцеллозольв 20, мопометиловый эфир ацетатгликоля 50 (10"„мономстилового эфира можно заменить 10% цпклогекcaIIo»a).

Раствор фильтруют и наносят на очищенную поверхность пленки меди, напыленцую на

15 ситалловую подложку. Далее поступают по примеру 1.

Защитное покрытие позволяет нарастить на пробельнь|е участки гальваническим путем слой меди толщиной -30 лк.

20 П р и м ер 3. Получают фоторезист по примеру 2.

Фоторезист наносят на слой хрома, напыленного на стекло. Травление производят серной кислотой при температуре 120 С.

1. Способ получения светочувствительных материалов нанесением на подложку свето30 чувствительного слоя, включающего эфир нафтохинондиазидсульфокислоты и голимера, отличающийся тем, что, с целью получения материала с высокой адгезпей к металлам, высокой кислото-, щелоче- и термостойкостью, 35 в качестве полимера применяют фенолфталеиц-формальдегидную смолу.

2. Способ по п. 1, отличпющийся тем, что в светочувствительный слой вводят полимерное связующее, например фенолформальдегид40 ную смолу.