Патент ссср 289665
Иллюстрации
Реферат
289665
ОП ИСА НИ Е
ИЗОБРЕТЕН Ия
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Советских
Социалистических
Республик
Зависимое от авт. свидетельства ¹â€”
Заявлено 16.|.1969 (№ 1297604/22-1) с присоединением заявки «¹â€”
Приоритет—
Опубликовано 06.1.1971. Бюллетень X 3
Дата опубликования описания 21.IV.1971,ЧПК В 011 17/08
Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров
СССР
УДК 669.054-172.002..5 (088.8) 1
Авторы изобретения
Ю. А. Рыбин и А. Н. Киргинцев
Институт неорганической химии Сибирского отделения АН СССР
Заявитель
УСТРОЙСТВО ДЛЯ ВЪ|РА|ЦИВАНИЯ МОНОКРИСТАЛЛОВ
Предлагаемое устройство может использоваться для выращивания 1из расплава монокристаллов полупроводников.
Известное устройство для выращивания монокристаллов из расплава включает трубчатый контейнер, установленный под углом
0 — 5 к горизонту, в полость которого помещена затравка. Контейнер снабжен приводом вращения вокруг продольной оси.
Отличием предлагаемого устройства является то, что контейнер снабжен ic торцов шлпфами, имеющими пустотелые керны с выступами,по продольной оси, герметично закрытые в .полости контейнера, причем B,noëoñòè кер HoB введены неподвижно установленные по оси контейнера трубками, соединенные с источником охлаждающей среды, а затравка укреплена на выступе керна.
Выполнение устройства создает условия дл« кристаллизации материала, подвергаемого зонной плавке, вне контакта со стенками контейнера, в связи с чем улучшается качество выращиваемых монокристаллов.
На чертеже изображено предлагаемое устройство.
О|но включает трубчатый контейнер 1, соеди|ненный с приводом 2 вращения его вокруг продольной оси я установленный под углом
0 — 5 .к горизонту. Коаксиально контейнеру установлен зонный нагреватель 8, который может перемешаться вдоль контейнера. С обоих торцов контейнер снабжен шлнфами 4, имеющими пустотелые керны» с выступами
6 и 7, герметично закрытые в полости контей5 нера. Через выступы 7 в полости кернов по оси контейнера введены неподвижно установленные трубки 8, соединенные с источником охлаждающей среды, Для создания в полости контейнера вакуума он снабжен отростком 9
10 с вакуум ным краном 10, pëñnoëoæåííûì возле одного из шлифов.
Выращивают монокристаллы следующим образом.
На выступе керна одного из шлнфов
1» укрепляют затравку 11, имеющую диаметр, близкий и диаметру контейнера. Исходную загрузку в виде стержня помешают в полость контейнера. На выступе керна другого шлпфа укрепляют стаканообразный приемник 12 загрязненного материала. Контейнер эвакуируют, по трубкам 8 подают воду в полости кернов шлифов и сообщают контейнеру вращательное движение. С помощью нагревателя 8 создают зону в контакте с затравкой после чего нагреватель приводят в движение вдоль контейнера.
По окончании прохода зоны контейнер наклоняют в сторону, приемника 12 и сливают в него часть расплава. Проходы можно осуществлять многократно до достижения нуж289G65
Предмет изобретения
Составитель T. Фирсова
Редактор Т. Баранова Техред 3. Н. Тараненко Корректор О. С. Зайцева
Изд. М 164, Заказ 51/278 Тираж 473 Подписное
ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Москва, Я(-35, Раушская наб., д. 4/5
Тип. Харьк. Фил. пред. «Патент» ной степени очистки. Для легирования выращенного кристалла приемник загрязненного материала удаляют, и на его место устанавливают второй затравкодержатель с затравкой, которую вплотную,подводят к монокристаллу. Между монокристаллом и затравкой помещают лигатуру или роль лигатуры выполняет затравка. Контейнер снова эвакуируют, и осуществляют проход в обратном направлении, в результате чего легирующая примесь распределяется,по монокристаллу.
Контейнер выполняется из материала, не смачиваемого расплавом, или покрывается изнутри слоем такого материала. На описываемом устройстве были .получены монокр исталлы германия длинной 200 — 250 мьм и диаметром
10 — 30 мм.
Устройство,для выращивания монокристаллов из расплава:на затравке, включающее трубчатый контейнер, установленный под углом 0 — 5 к горизонту, и привод вращения контейнера вокруг продольной оси, отличающьеся тем, что, с целью создания условий для исключения контакта кристаллизующегося материала со стенками контейнера, контейнер снабжен ñ торцов шлифами, имеющими пустотелые керны с выступами по продольной оси, герметично закрытые в полости контейнера, причем в полости кернов введены неподвижно установленные по оси,контейнера трубки, соединенные с источником охлаждающей среды, и затравка укреплена на выступе кепна.