Патент ссср 290332
Иллюстрации
Реферат
О Il И С А Н И Е 290332
ИЗОБРЕТЕН ИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Фоюа Соввтоких, Социалиотичвоких
Рвопублик
Зависимое от авт. свидетельства №вЂ”
Заявлено 06Х1.1969 (№ 1336981!26-9) с присоединением заявки №
Приоритет
МПК Н Olg 3!095
Комитет по долам изобретений и открытий при Совете тлиииотров
СССР
Опубликовано 22.XI I 1970. Бюллетень ь 2 за 1971
Дата опубликования описания 15.II.1971
УД К 537,224:621.9.416 (081
Авторы изобретения
1О. А. Ильин и В. Д. Хомичев
3 аявитель
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ КОНДЕНСАТОРНОИ ПЛЕНКИ
Изобретение относится к области электронной техники и может быть использовано в производстве радиотехнических конденсаторов.
Известны методы получения тонких пленок, наносимых на подложку из раствора полимеров, с последующим осаждением на упомянутую пленку тонкого слоя металла, являющегося обкладкой конденсатора, и удалением с поверхности подложки пленки и слоя металла.
Недостатком этого способа является проникновение металла по дефектам порообразного типа, имеющимся в тонкой пленке, происходящее в процессе вакуумного осаждения металла на пленку, что .приводит к закорачиванию обкладок или снижению сопротивления изоляции конденсатора.
Целью данного изобретения является устранение проникновения металла по порообразным дефектам тонкой конденсаторной пленки, состоящей из полимерной пленки и слоя металла.
Поставленная цель достигается посредством осаждения слоя металла вакуумным испарением на подслой, предварительно нанесенный на подложку и обладающий меньшей, чем пленка, адгезией к осаждаемому металлу с последующим нанесением полимерной пленки на слой металла и отделением ее вместе со слоем металла от подслоя.
Получение конденсаторной пленки ведут в следующей последовательности.
5 CHBча IB H3 подложк1 HBHOCBT IlOQC lOÉ, 00ладающпй меньшей, чем пленка, адгезпей к осаждаемому затем металлу. Например, перед получением пленки из г олнппромеллптпмпда или поликарбоната на подложку, в качестве
10 которой можно использовать алюминиевую фольгу толщиной 20 ик, наносят лаковым методом подслой из циклолинейного полифенплсилоксана, который рañòâîðÿþò в бензоле. хлороформе или другом растворяющем этот
15 полимер растворителя. После удаления растворителя на подслой испарением в вакууме осаждают слой металла, например алюминий, оставляя свободную от мегалла полосу для создания на пленке закраины. Толщина слоя
20 металла может быть такой же пли большей, чем прп осаждении металла непосредственно на пленку (соответственно проводимость слоя
0,5 — 1,0 он плп больше). Далее на слой металла лаковым илп другим методом наносят
25 тонкую полимерную пленку, отделяемую затем вместе с металлом от подслоя. В зависпмосгп от механической прочности пленки и требований, предъявляемых к ее электрическим характеристикам, получают пленку толщиной 2—
30 5 лтк.
290332
Предмет изобретения
Составитель Е. Ковалева
Текрсд Л. В, Куклина
Корректор Il. Л. Ьронскаи
1 сдактор М, В, Макарова
Изд. М 82 Заказ 206, 4 Тираж 480 Подписное
11,1-1И11ПИ Комитета по делам изобретений и открытий прп Совете Министров СССР
Москва, )К-35, Рауьискаи llàá., д. 4,5
Типографии, пр Сапунова, 2
Способ получения конденсаторной пленки, состоящей из слоя металла и полимерной пленки, нанесенной лаковым или другим методом на подложку с последующим отделением конденсаторной пленки от подложки, отлича ои ийся тем, что, с целью устранения проникиовения металла по: орообразным дефектам пленки в процессе осаждения металла испарением в вакууме, упомянутый слой металла осаждают на подслой, предварительно нане5 сенный на подложку и обладающий меньшей, чем пленка, адгезией и осаждаемому металлу, после чего наносят полимерную пленку.