Устройство для нанесения покрытий в вакууме на внутренние поверхности полых изделий

Устройство для нанесения покрытий в вакууме на внутренние поверхности полых изделий

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОП ИГРАНИ Е

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

290966

Са)аз,.Саввтскик

Сф11ввлиатичеакив

Республив

Зависимое от |)вт. свн.|етельства Л

ЛИ1К С 23с 13, 08

3 а я плен о 26.1Х.1969 (№ 1365380,, 22-1 ) с присоединением заявки М-) () Н )i) II I i T

Опубликовано 06.1.1971 r. Б|оллетснь Л 3

Дата опубликования описа:)ilÿ 2.П1.1971 комитет по iles)ii))i) иеааретеиий и открытий при Совете )т)ииистрое

СССР

УЛ К 621.793,14.022.52 (088.8) Л. А. Иванов, В. A. Абрамов, И. И. Москалев, А. А. Куденцов и П. Г. Сычев

Авторы изобретения

Всесоюзный научно-исследовательский технологический институт химического, насосно-компрессорного и 3pM;ITfpHOl0 машиностроения

Зая,ни) ель

УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ В ВАКУУМГ

НА ВНУТРЕННИЕ ПОВЕРХНОСТИ ПОЛЫХ ИЗДЕЛИЙ

Изобретение относится к области !IB)lcci ния вакуумных покрытий.

Известно устройство для нанесения покрытий в вакууме на внутренние поверхности полых изделии, содержащее нагревательный элемент с токоподводом, тигель с нспаряемым веществом, шпиндель для закрепления изделия н механизм вращения шпинделя.

Предложенное устройство отличается от известного тем, что нагревательный элемент выполнен в виде гибкой тугоплавкои ленты, натянутой на изолирующую керамическую основу, один конец которой выполнен с углублением, форма которого соответствует форме тигля с испаряемым веществом.

Это предотвращает замыкание нагревательного элемента с изделием.

На чертеже представлено предлагаемое устройство, общий вид.

Устройство состоит из нагревательного элемента, выполненного в виде гибкой тугоплавкой лепты 1, вытянутой на изолирующую керамическую основу 2, один конец которой выполнен с углублением, форма которого соответствует форме тигля с испаряемым всщсcTBoivI ), токопровода 4, шпинделя 5 для 33крепления изделия б и механизма вращения шпинделя (на чертеже нс показан).

Шпиндель 5 нсподви)кно закрепляют на валу 7 механизма вращения, а изделие б, ill. .Т

10 изолирующую ксра<мичсскую втулку И, токoподвод -/ II нзолирующу)0 керамическую шайбт 1-/< и Всс 3То Kpcнят I)3 сто))кс 11 I;lili!0!i

15 ° срез ша) )оу lб.

Псрсмсщсннсм стойки 11 0T!)ocl) гслы)0 стойки 17 осу|цсствлястся регулировка положения нагрсватслы)ого элемента относнтслы)о оси вращения изделии. Установленное положение нагрс вате;)ьнОГО э,)ем< нта Относi!Tc, iы|0 оси вращения изделия фиксируется винтом 18.

20 Устройство устанавлнван>т в вакуумной камере и вводят Bllv TpL вань<.!ясм ОГО изделия )), после этого вклк)чают мс;аннзм вр)))ц l)l)II

I!I!lHII !c;)H c одновРсv) )I!10)i н»да<)сй иан1)))жсния на концы нагрс)затсльного элемента, чср5 рез токоцодводы 4 и 19 посредством контактных зажимов 20 н 21, в результате чего нро. исходит напыление матерна 13 на внузрснн)ою поверхность изделия.

Предмет пзобрстc)illÿ

3Q Устро))cTBQ д:|я нанес ния пок< )ЫT!Ill B B3.

290966

Состиви Гель И. Резник

Редактор В. П. Новоселова Текред Л. Я. Левина Корректор Т. А. Джаманкулова

Заказ 607 Тираж 473 Подписное

Ц11ИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, 7К-Зо, Phyl)lcl наб.. д, 4/5

ЗаГ01)скак типоГj)3(j)IIII. куумс на впутрснпис поверхности полых изделий, содержащее нагревательный элемент с токоподводом, тигель с испаряемым веществом, шпиндель для закрепления изделия и механизм вращения шпинделя, отлача ощееся тем, что, с целью предотвращения замыкания нагревательного элемента с изделием, он выпо;1нен в виде гибкой тугоплавкой ленты, натянутой на изолирующую керамическую основу, один конец которой имеет углубление, форма которого соответствует форме тигля с испаряемым веществом.