Устройство для автоматического совмещения подложки с маской

Устройство для автоматического совмещения подложки с маской

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

29I387,Союз Советских

Социвлистичесиих

Республик

Зависимое от авт. свидетельства ¹

МПК Н 05k 7/12

Заявлено 08.1Х.1969 (№ 1359009/26-9) с присоединением заявки _#_Приоритет

Опубликовано 06.1.1971. Б|оллстень № 3

Дата опубликования описания 22.I I.1971

Комитет по лелем изобретений и открытий при Совете Министров

СССР

УДК 539.23.002.5(088.8) Авторы изобретения

P. А, Гаврилов и Н. М. Богачев

Заявитель

УСТРОЙСТВО ДЛЯ АВТОМАТИЧЕСКОГО СОВМЕЩЕНИЯ

ПОДЛО)ККИ С МАСКОЙ

Изобретение относится к области тех вологин радиоэлектронной аппаратуры, в частности к оборудованию, используемому для изготовления многослойных тонкопленочных микросхем.

Извесвное устройство для автоматического совмещения подложки с маской обеспечивает их совмещение с необходимой точностью и плотное,прилегание друг к другу.

Целью изобретения является упрощение конструкции и повышение точности совмещения подложки с маской.

Для этого к нижней плоскости маскодержателя вдоль каждой стороны его крепятся пластинчатые Z-образные |пружины, которые другим своим, концом прикреплены к верхней,плоскости плавающей плиты маокодержателя.

На фиг. 1 схематически изображено предлагаемое устройство (до совмещения); на фиг. 2 — то же, после совмещения.

Устройство состоит из подложкодержателя и маскодержателя. Подложка 1 укреплена яа корпусе 2 подложкодержателя с помощью специальных, прижимов и пружин и прилегает к нижней его плоскости:по периметру.

Корпус 2,подложкодержателя установлен а гнезде диска 3 транспортирующего устройства и поддерживается в нем с помощью лланок 4 и пруж|ин 5. В корпусе 2 имеются конусное отверстие и паз с плоскими наклонными боковыми поверхностями (призматический паз), служащие для фиксации по шаровым поверхностям штифтов маскодержателя.

Маска б закреплена на плавающей плите 7 винтами и контактной сваркой. Плита 7 «вывешена» в основании 8 с помощью четырех изогнутых тонких пл асти нчатых Z-образных пружин 9, одна сторона которых укреплена

10 на плите 7, а другая — на основании 8. В основание 8 запрессованы два штифта 10 с шаровыми фиксирующими головками. Штифты служат для фиксации подложкодержателя по конусному отверстию и призматическому I1315 зу. Штифт 11 играет роль третьей опоры и обеспечивает размещение различных подложкодержателей в идентичном положении. Основание 8 установлено в гнезде диска 12 маскодержателей и удерживается в нем с по20 мощью планок 18 и пружи.:н 14.

После транспортировки подложкодержателя на требуемую позицию диски 8 и 12 сближаются, и в результате .подложкодержатель коническим отверстием и призматическим па25 зом устанавливается на шаровые головки штифтов 10, а нижней плоскостью опирается на штифт 11. Основание 8 при этом смещается вниз по вертикали относительно диска маскодержателей. Пружина 14 способствует

30 созданию требуемого усилия, необходимого

3 для надежного контактирования фиксирующих отверстий и штифтов, а также компенсации неточностей расположения,подложкои маскодержателей в различных позициях.

Плита 7 и пружина 9 выполнены таким образом, что когда подложкодержатель установлен на штифты маскодержателя, подложка 1 оказывается плотно прижатой своей нижней плоскостью к маоке б. Это обеспечи,вается за счет смещения плиты 7 относительно основания 8 вниз по вертикали и деформации пружин 9. Основное назначение,пружин 9 — предотвращение смещения маски б в поджатом к подложке состоянии относительно штифтов 10 в плоскости контактировапия. Это достигается за счет расположения пружин по сторонам плиты 7. Каждая пара ,противоположно размещенных пружин противодействует смещению плиты 7 в направлении ос» симметрии, параллельной их большой стороне.

Предмет изобретения

Устройство для автоматического совмещения подложки с маской, содержащее подложкодержатель с фиксирующими коническим отверстием и призматическим пазом, 10 маскодержатель с фиксирующими шаровидной формы головками, отличающееся тем, что, с целью упрощения конструкции и повышения точности совмещения, подложки с маской, к нижней плоскости маскодержателя д вдоль каждой стороны его крепятся пластинчатые Z-образные пружины, которые другим своим концом прикреплены к верхней плоскости плавающей плиты маскодержателя.

A-A

Фиг. 1 иг 2

Составитель А. Мерман

Корректор О. С. Зайцева

Техред А. А. Камышникова

Редактор Е. Кравцова

Типография, пр. Сапунова, 2

Изд. ¹ 132 Заказ 240,9 Тиран 473 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий прп Совете Министров СССР

Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5