Способ получения вольфрамовых покрытий
Иллюстрации
Реферат
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
29I995
Союз Советскив
Сопиалистииескив
Реоо7боив
Зависимое от авт. свидетельства №
Заявлено 09.IX.1969 (№ 1360288/22-1) с присоединением заявки №
Приоритет
Опубликовано 06.1.1971. Бюллстсвь № 4
Дата опуоликованпя описания 23.11.1971
МПК С 23с 11/00 комитет по делаю изооретеиий и открытий при Совете Министров
0! GP ДК 621.793.16:669.27 (088.8) Авторы изобретения
Ю. М. Королев, В. И. Столяров, В. Ф. Соловьев, А. Б. Емельянов н А. Л. Мосалков
Заявитель
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ВОЛЬФРАМОВЫХ ПОКРЬ!ТИИ
Изобретение относится к способам получения металлических покрытий из газовой фазы.
Известен способ получения вольфрамовых покрытий путем восстановления гексафторида вольфрама водородом на нагретой подложке.
С целью улучшения качества покрытия, предложено процесс вести циклически с попеременным чередованием осаждения и пассивации подложки. Пассивацию подложки можно осуществлять путем выдержки в среде одного из компонентов газовой смеси при температуре осаждения или путем выдержки в среде инертного газа при этой же температуре.
Предложенный способ заключается в следующем. После осаждения вольфрама на толщину 80 — 120 л к подложку выдерживают в среде инертного газа или одного из компонентов газовой смеси, например водорода, в течение 5 — 10 вин. После этого опять наносят слой вольфрама.
Вольфрамовые покрытия, полученные по предложенному способу, имеют микроструктуру, обуславли нающую повышение предела прочности на растяжение.
Например, осадки, полученные из смеси гексафторида вольфрама с б мол. % водорода при температуре 550 С, имеют при комнатной температуре предел прочности на растяжение
18 кг/лл - и прп температуре — 31 кг/лл -
1000 С.
5 Осадки, полученные по предложенному способу, имеют предел прочности на расстяженпе соответственно 24 и 47 — 50 кг/лл .
10 Предмет изобретения
1. Способ получения вольфрамовых покрытий из газовой фазы путем восстановления гексафторида вольфрама водородом на нагре15 той подложке, отличающийся тем, что, с целью улучшения качества покрытия, процесс ведут циклически с попеременным чередованием осаждения и пассивации подложки.
2, Способ по л. 1, отличающийся тем, что
20 пассивацию подложки осуществляют путем выдержки в среде одного из компонентов газовой смеси при температуре осаждения.
3. Способ по п. 1, отличающийся тем, что пассивацию подложки осуществляют путем вы25 держки в среде инертного газа при температуре осаждения.