Способ ориентации микроминиатюрных деталей

Способ ориентации микроминиатюрных деталей

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

295I60

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 24.Х1.1969 (№ 1377597/26-25) МПК Н 011 7/64 с присоединением заявки №

Приоритет

Опуолпковано 04.11.1971. Бюллетень X 7

Комитет ло делам изобретений и открытий лри Совете Министров

СССР

УДК 621.328.002.54 (088.8) Дата опубликования описания 25.111.1971

Авторы изобретсшгя

А. А. Иванов и В. А. Огнев

Заявитель

СПОСОБ ОРИЕНТАЦИИ МИКРОМИНИАТЮРНЫХ ДЕТАЛЕЙ

Изобретение относится к способам ориентации микроминиатюрных деталей, например полупроводниковых кристаллов, и может быть использовано при производстве интегральных схем и полупроводниковых приборов.

Известны способы транспортирования деталей под действием сжатого воздуха. Известны также способы ориентации деталей в пространстве с помощью воздушных струй.

Известные способы транспортирования обеспечивают перемещение деталей по наклонному лотку и не предусматривают ориентацию деталей в пространстве. Известньш способ ориентации деталей применим лишь для поштучной ориентации деталей, имеющих значительный вес, габаритные размеры и ключи ориентации, соизмеримые с сечением свободной струи сжатого воздуха, создающей опрокидывающий момент.

Целью изобретения является обеспечение групповой ориентации микроминиатюрных деталей со слабо выраженной асимметрией формы, а также симметричных деталей со смещенным центром тяжести.

Предложенный способ основан на транспортировании деталей под действием сжатого воздуха, поступающего через отверстия в лотке и образующего прослойку между плоскостями контакта деталей и лотка.

Сущность способа заключается в том, что детали помещают на опорную плоскость камеры, выполненную из пористого материала, например мсталлокерамики, который предcI àâëHåò собой спсгему микросопел для подвода сжатого воздуха. Давление сжатого воздуха подбирают таким, чтобы детали, обращенные к лотку большей опорной поверхностью, оказывались во взвешенном состоя1р ии, а остальные детали сохраняли контакт с поверхностью лотка.

Затем камере сообщают направленные гармонические колебания промышленной частоты (50 гп) плп частоты, кратной послед15 ней, для обеспечения потока ориентированных деталей.

На фпг. 1 дана схема устройства для осуществления прсдложеш1ого способа; на фш.. 2 — схема ориентации асимметричных деталсп; на фпг. 3 — схема ориентации деталей со смещенным центром тяжести.

Устройство для ориентации микромшшатчорпых деталей описываемым способом содержит герметичную камеру 1 с крышкой о штуцером 8, по которому внутрь камеры lloдается сжатый воздух.

Камера 1 установлена на упругих подвесках -1, благодаря чему она может колебаться в направлешш продольной осп. По лотку

3р 5 детали 6 поступают на крышку герметпч295160

35 ной камеры, выполненную из микропористого материала, поры которого образуют систему микроскопел. Через эти сопла проходит сжатый воздух, образуя равномерно распределенную воздушную прослойку между крышкой и контактной поверхностью деталей, Давление воздуха, подаваемого в камеру

1, подбирают таким, чтобы детали, обращенные к крышке 2 большей поверхностью, оказались во взвешенном состоянии, а детали, обращенные к крышке 2 меньшей контактной плоскостью, оставались «а ее поверхности.

Затем камере сообщают направленные гармонические колебания промышленной частоты (50 ги) или кратной ей. Детали, соприкасающиеся с крышкой, под действием силы трения перемещаются в ориентированном положении, образуя поток, а детали, находящиеся во взвешенном состоянии, остаются на месте или псремещаются в случае наклона лотка в обратном направлении.

Описываемый способ может быть осуществлен и для ориентации симметричных микродеталей со смещенным центром тяжести (см. фиг. 3).

Деталь, например призма со смещенным в направлении продольной оси центром тяжести, помещенная «ra пористую поверхность вибрирующей камеры, устанавливается тяжелым концом вперед, так как противоположный конец под давлением сжатого воздуха оказывается взвешенным.

Испытания устройства, осуществляющего данный способ, показали, что ориентация микродеталей по микроключу возможна лишь при наличии системы микросопел, которыми в металлокерамике или другом пористом материале являются поры. Если же отверстия выполняют сверлением, ориентация не обеспечивается.

При испытаниях использовали крышку камеры из металлокерамического материала (титаната бария) с размерами пор 5 — 20 мк с общей пористостью 25 — 50 О/О. Давление в герметичной камере поддерживалось 8—

12 мм вод. ст, при весе детали 0,0016 г. Столь малое давление можст быть ооеспечено автономным источником питания, например вентилятором малой мощности, что позволяет применять вспомогательную пневмоаппаратуру.

Предмет изобретения

Способ ориентации микроминиатюрных деталей, например полупроводниковых кристаллов, сжатым воздухом, образующим прослойку между поверхностями деталей и опорной плоскостью, отличающийся тем, что, с целью осуществления групповой ориентации деталей со слабо выраженной асимметрией формы, а также симметричных деталей со смещенным центром тяжести, детали помещают на опорную плоскость, выполненную из пористого материала, подают под опорную плоскость воздух с давлением, подобранным из условия взвешенного состояния деталей, обращенных к опорной плоскости большей поверхностью, а затем сообщают опорной плоскости направленные гармонические кочеба ия.

Фиг! б

Фиг 7

Фиг 3

Составитель В. М. Гришин

1 сдактор Т. 3. Орловская Техрсд Т. П. Курилко Корректор Н. Л. Бронская

Изд. № 281 Заказ 613/11 Тираж 473 Подписное

ЦИИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, К-35, Раушская наб., д. 4, 5

Типография, пр, Сапунова, 2