Дифференциальный пьезоакселерометр с частотным выходом
Иллюстрации
Показать всеРеферат
О П И СА Н И Е
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
296037
Союз Советских
Социалистических
Республик
Зависимое от авт. свидетельства №
Заявлено 13.Х.1969 (№ 1367292/18-10) с присоединением заявки №
Приоритет
Опубликовано 12 11.1971. Бюллетень ¹ 8
Дата опубликования описания 5.1 « .1971
МПК С Olp 15/08
Комитет по делам изобретений н открытий прн Совете йунинстров
СССР
УДК 531.768(088.8) Авторы изобретения
В. В. Малов, В. М. Плужников и М. С. Хлыстунов
Московский инженерно-физический институт
Заявитель
ДИФФЕРЕНЦИАЛЬНЪ|Й ПЪЕЗОАКСЕЛЕРОМЕТР
С ЧАСТОТНЫМ ВЫХОДОМ
Изобретение относится к области измерительной техники.
Известны дифференциальные пьезоакселерометры с частотным выходом, содержащие корпус, инерционную массу, относительно которой симметрично расположены пьезорезонаторы, связанные с генераторами, подключенными к детектору частоты биений генераторов.
Предлагаемое изобретение позволяет упростить конструкцию и повысить технологичность, что обеспечивается образованием резопаторов двумя парами электродов, нанесенных с обеих сторон на монолитную пластину из пьезоактивного материала.
На фиг. 1 показана конструкция чувствительного элемента акселерометра; на фиг. 2— блок-схема однокомпонентного дифференциального акселерометра с частотным выходом.
В корпусе 1 чувствительного элемента 2 по углам жестко закреплена тонкая прямоугольная пластина 8 постоянной толщины из пьезоактивного материала.
На двух больших поверхностях пластины 8 симметрично относительно ее центра нанесены четыре металлических электрода, образующих два пьезоэлектрических резонатора 4 и
5. По линии, соединяющей резонаторы 4 и 5, на одинаковом расстоянии от них на пластине 8 установлена инерционная масса б. Резонатор 4 присоединен к генератору 7 через клеммы 8 и 9, а резонатор 5 — к генератору
10 через клемы 11 и 12. Выходы 18 генератора 7 и 14 генератора 10 подсоединены к детектору 15, на выходе которого частота сигнала равна разности частот генераторов 7 и 10.
Генераторы 7 и 10 находятся в режиме непрерывных гармонических колебаний с частотами, равными или близкими между собой и задаваемыми соответственно пьезорезонатора10 ми 4 и 5. По высокой частоте резонаторы 4 и
5 акустически развязаны. Это обеспечивается за счет соответствующего выбора среза (в случае пьезокристаллического резонатора) или поляризации (в случае пьезокерамическо15 го резонатора), определяющих тип колебаний в резонаторе, а также за счет определенной геометрии и соотношения размеров пластины
8 и электродов. При отсутствии ускорения частоты колебаний генераторов 7 и 10 равны
20 пли отстоят одна от другой на фиксированное значение. При действии ускорения масса б создает напряжения и деформации в резонаторах 4 и 5, приводящие к сдвигу резонансных частот этих резонаторов и, соответствен25 но, к сдвигу частот генераторов 7 и 10. При
«вертикальном» (вверх или вниз в плоскости, фиг. 1) ускорении один из резонаторов сжимается, а другой растягивается усилием, создаваемым инерционной массой б. В результа3О те возникающих механических напряжений резонансные частоты элементов 4 и 5 будут
296037
Предмет изобретения Рис
Составитель В. Н. Жилейкина
Редактор В. П. Новоселова Техред H. И. Наумова Корректоры: А. Николаева и Л. Корогод
Заказ 785/12 Изд. № 348 Тираж 473 Подписное
ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Москва, Ê-35, 1 аушскал наб., д. 4/5
Типографии, пр. Сапунова, 2 в силу симметриии конструкции изменяться равной степени, но с противоположными знлками девиации, и на выходе детектора 15 .оявится сигнал с частотой, зависящей от ве чичины этой составляющей ускорения, При «горизонтальном» ускорении (вправо— влево в плоскости, фиг. 1) инерционная масса б одинаково воздействует на оба резонатора 4 и б, сдвигая их частоты и частоты генераторов 7 и 10 в равной мере и одинаковым знаком. В результате при горизонтальной компоненте ускорения частота на выходе детектора 1б не изменится, Дифференциальный пьезоакселерометр с частотным выходом, содержащий корпус, инерционную массу, относительно которой симметрично расположены пьезорезонаторы, связанные с генераторами, подключенными к детектору частоты биений генераторов, отличающийся тем, что, с целью упрощения конструкции и повышения технологичности, в нем резонаторы образованы двумя парами электродов, нанесенных с обеих сторон на монолитную пластину из пьезоактивного материала.