Способ изготовления вентилей пленочныхкриотронов

Способ изготовления вентилей пленочныхкриотронов

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

297I29

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

Союз Советских

С(lдиалиот«костим, P;cnybrëê. () . /

МПК H 03k 17/84

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 16.Х.1969 (№ 1368125/26-9) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 02.111.1971. Бюллетень № 9

Дата опубликования описания 6.IV.1971

Комитет по делам изосретений и открытий при Совете Министров

СССР

УДК 621.318.57(088.8) Авторы изобретения В. И. Аршинов, С. К. Дмитриева, П. Е. Кандыба, Н. И. Комаровских, В. П. Лаврищев, Г. М. Лапир, Р. К. Мазитов и В. А. Олейникова

Заявитель

СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ВЕНТИЛЕЙ ПЛЕНОЧНЫХ

КРИОТРОНОВ

Изобретение относится к микроэлектронике.

Известен способ изготовления вентиля пленочного криотрона путем последовательного нанесения тонкой пленки золота и сверхпроводящего металла индия.

Известны также способы изготовления вентиля пленочного криотрона, когда вентиль образуется нанесением одного слоя сверхпроводящего металла (например, олова или индия). "«й

Цель изобретения — улучшение технологии изготовления криотронных интегральных схем, увеличение быстродействия и повышение напряжения выходного сигнала криотронов.

Для этого по предлагаемому способу в качестве металла используют пленку свинца с последующим отжигом при температуре 100—

120 С.

На подложку из ситалла наносится свинцовый экранирующий слой затем слой изоляции из задубленного фоторезиста. Поверх указанных слоев вакуумным испарением через массу наносятся пленки золота толщиной 0,4 мкм, на которые наносятся также вакуумным испарением пленки свинца толщиной 0,4 мкм.

Время отжига при температуре 100 — 120 С составляет 1 — 2 час. Полученный вентиль изолируется снова пленкой фоторезиста и поверх нее методом испарения и последующей фотолитографии образуются свинцовые управляющие пленки криотронов. В результате отжига получается интер металлическое соединение свинца с золотом, из которого и состоят вентили криотронов.

Ъ казанное соединение обладает хорошими сверхпроводящими свойствами и имеет повышенное по сравнению с чистыми металлами остаточное сопротивление. Благодаря образованию химического соединения свойства

10 сплавной пленки вентиля оказываются достаточно стабильными при небольших отклонениях в исходной толщине пленок золота и свинца в отличие от обычных сплавов.

Предлагаемый способ позволяет получить

15 хороший сверхпроводящий контакт между разными металлами: наносят золото в те места схемы, где должны получиться вентили, затем наносят свинец и проводят отжиг; при этом из одной пленки свинца получают либо

20 вентили в тех местах, где свинец лег на золото, либо соединительные линии и управляющие пленки в остальных местах.

Предлагаемый способ хорошо согласуется с наиболее перспективной чисто фотолитографи25 ческой технологией криотронных схем. Используя фотолитографию можно наносить сплошную пленку золота, травить его по нужному рисунку, затем наносить сплошную пленку свинца и снова травить для получения не30 обходимый топологии.

297129

Предмет изобретения

Составитель А. Мерман

Техред Л. В. Куклина Корректор Т. А. Абрамова

Редактор Т. Иванова

Заказ 798/14 Изд. № 376 Тираж 473 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, 7К-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2

Способ изготовления вентилей пленочных криотронов, основанный на последовательном нанесении пленок золота и сверхпроводящего металла, отличающийся тем, что, с целью улучшения технологии изготовления криотронных интегральных схем, увеличения быстродействия и повышения напряжения выходного сигнала криотронов, в качестве упомянутого металла используют пленку свинца с пос5 ледующим отжигом при температуре 100—

120 С.