Ионно-сорбционный насос

Ионно-сорбционный насос

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОПИCAНИE

ИЗОБРЕТЕНИЯ

--297802

Союз Советских

Социалистических

Республик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 26.VI.1968 (№ 1250642/26-25) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 11.111.1971. Бюллетень № 10

Дата опубликования описания 13Х.1971

МПК F 04b 37/00

Комитет по делам изобретений и открытий при Совета Министров

СССР

УДК 621.528. (088.8) Авторы изобретения

А. С. Назаров, Г. А. Корецкий, М. В. Кузнецов, А. А. Кузьмин и Г. Ф. Ивановский

Заявитель

ИОННО-СОРБЦИОННЪ|Й НАСОС

Предмет изобретения

Известны ионно-сорбционные насосы с твердофазными испарителями титана, например с испарителя ми из титано-молибденовой проволоки или сплавными испарителя ми.

Величина скорости испарения титана в этих испарителях не превышает 2,5мг/час см2 и является недостаточной для высокопроизводительных насосов со скоростями откачки тысячи и десятки тысяч литров в секунду.

Для увеличения скорости испарения титана с твердофазных испарителей необходимо повысить рабочую температуру испарителя.

Повышение рабочей температуры испарителей ограничивается температурой плавления материала испарителя.

С целью создания более тугоплавких испарителей увеличивают содержание легирующей компоненты с высокой температурой плавления. Однако при повышенном содержании таких металлов, как ниобий, тантал, молибден, затрудняется вывод свободного титана на поверхность испарителя, уменьшается эффективный запас титана в испарителе, ухудшается механическая обрабатываемость сплава, возрастает стоимость испарителей.

Предлагается легирование испарителей геттерно-ионных насосов газами: азотом или кислородом. При концентрации азота 4 вес. температура плавления титана повышается на 360 С. Азот и кислород прочно удерживаются титаном, и выделения этих газов из сплава вплоть до температуры плавления не наблюдается, Азот (или кислород) в накаленном титане растворяется быстро. Эту реакцию можно про. водить в вакуумном объеме насоса; для этого создают в объеме насоса нужное давление

10 газа и накаляют испаритель.

За счет введения азота и кислорода в биметаллические испарители рабочая температура испарителя повышается и скорости испарения достигают более 10 мг/час см, т. е.

15 в 4 раза больше, чем при отсутствии добавки.

1. Ионно-сорбционный насос, содержащий

20 нагреваемые испарители с сорбирующими материалами, например с титаном, отличающийся тем, что, с целью увеличения скорости испарения титана, материал испарителя содержит газ в количестве 0,1 — 5 вес. %.

25 2. Насос по п. 1, отличающийся тем, что материал испарителя содержит азот в количестве 0,1 — 5 вес. %.

3. Насос по п. 1, отличающийся тем, что материал испарителя содержит кислород в

Зо количестве 0,1 — 5 вес. %.