Устройство для нанесения покрытий в вакууме

Устройство для нанесения покрытий в вакууме

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

298704

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик

P+ 5Q@x

;,".", >4J)

Л б, . . :-

Зависимое от авт. свидетельства М—

МПК С 23с 13/12

Заявлено 05Л.1969 (№ 1390430/22-1) с присоединением заявки М

Приоритет

Опубликовано 16.lll.1971. Бюллетень М 11

Дата опубликования описания 16.1 .1971

Комитет по делам изобретений и открытий

flpH Совете Министров

СССР

Ъ ДК 621.793.14.002.51 (088.8) ВСЕС01су= 1

ЗПИ1 1!".- .. -.

Автор изобрете тия

Э. Г. Маркосян

Заявитель

УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ В ВАКУУМЕ

Предмет изобретения

Изобретение относится к области нанесения покрытий в вакууме.

Известно устройство для нанесения покрытий в вакууме, содержащее испаритель металла в виде системы проволочных стержней.

Предложенное устройство отличается от известного наличием испарителя диэлектрика, расположенного под испарителем металла на одной с ним оси. Это позволяет получать однородные по толщине и составу металлокерамические пленки.

На чертеже показано описываемое устройство.

Оно состоит из испарителя металла 1 в виде системы проволочных стержней, испарителя диэлектрика 2 и подложки 8.

Испаритель металла обеспечивает высокую степень однородности напыления. Однородность напыления диэлектрика достигается или удалением испарителя от подложки, или увеличением его активной площади. Процентное содержание компонентов в напыляемой пленке

5 регулируется изменением расстояния испарителей до подложки или их режимами.

Устройство для нанесения покрытий в вакууме, содержащее испаритель металла в виде системы проволочных стержней, ornuuniou1eec тем, что, с целью получения однородных по

15 Tîë öèíc и составу металлокерамических пленок, устройство снабукено испарителем диэлектрика, располо кенным под испарителем металла на одной с нпм ocl>.

298704

Составитель И. Резник

Редактор Н. Л. Корченко Тсхрсд Л. Я. Левина Коррскторы: А. Николаева и Л. Корогод

Заказ 859/16 Изд. ¹ 384 Тираж 473 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2