Материал для пленочных резистивных датчиков

Материал для пленочных резистивных датчиков

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

298839

Союз Согетокиз

Собиалиотичеоки»

Реолтблик

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 26.1Х.1969 (Pk 1367726/18-10) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 16.111.1971. Бюллетень ¹ 11

Дата опубликования описания 12Х.1971.

МПК G Olk 7/10

Котзитет ео делазт игобретеиий и открытий.

IlpH Сооете Миииотрое

СССР

УДК 536.531(088.8) Авторы изобретения Е. Б. Аптерман, P. М. Иванова, В. А. Соколина и P. П. Фиалковская

Заявитель

МАТЕРИАЛ ДЛЯ ПЛЕНОЧНЫХ РЕЗИСТИВНЫХ ДАТЧИКОВ

ТЕМПЕРАТУРЫ

Предлагаемое изобретение может быть использовано для изготовления пленочных термометров сопротивления для низких температур.

На основе этого материала, нанесенного на поверхность стекла или других диэлектриков, могут бысть сконструированы высокочувсгвительные, малоинерционные, виброу стойчивые датчики температуры, которые найдут широкое применение при решении научных и технических задач, связанных с использованием низких температур.

Особую задачу низкотемпературной термометрии представляет регистрация быстрых изменений температуры, контроль за кинематикой различных тепловых процессов, Эта задача может быть решена с помощью малоинерционных датчиков температуры. Такие термометры могут быть изготовлены на основе термометрических веществ в виде тонких пленок.

Были исследованы разнотолщинные пленки

SnO2, свободные от специально вводимых примесей. При охлаждении до гелиевых температур сопротивление пленок возрастает. Воспроизводимость сопротивления пленок после отогрева до комнатной температуры составляет

wÔ- 1%.

Известно также, что электричесие и, следовательно, термометрические свойства полупроводниковых материалов существенным образом зависят от содержания и состава примесей.

Цель изобретения — разработка материала, обеспечивающего наилучшие его термометрические свойства, что достигается применением двуокиси олова, легированного сурьмой в количестве до 60 мол. % для изготовления пленочных резистивных датчиков температуры.

Пленки получались известным методом

1р пульверизации спиртовых растворов хлорида олова и хлорида сурьмы. Состав пленки варируется путем введения различного количества сурьмы в пленку и изменением температуры нанесения пленки от 550 до 750 . Пленки та15 ких составов получались ранее, однако, использовались они только как материал для стабильных резисторов.

Материал по данному изобретению обладает рядом ценных качеств:

20 хорошими термометрическими свойствами при низких температурах (1,5 — 300 К) обладают пленки системы SnO с концентрацией

SbgOa, ле кащей в пределах 18 — 60 мол. % (концентрация примеси в пленке определяется

2S расчетным путем на основании концентрации сурьмы в пленкообразующем растворе, исходя из предположения о полноте реакции пленкообразования); оптимальными термометрическими свойства30 ми обладают пленки; легированные 20 мол. %

298839

Предмет изобретения

Составитель И. И. Дубсои

Техред E. Борисова Корректор О. С. Зайцева

Редактор В. П. Новоселова

Заказ 1248/14 Изд. № 554 Тираж 473 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2

SbgOg, Их ТКС 4,2 К равняется (7—

11) 10 а град — 1, стабильность при 4,2 К после многократных отогревов до комнатной температуры и термоударов от 4,2 до 90 К равна

1 0,1 К. Удельная электропроводность этих пленок при комнатной температуре равна о 300 К 100 ом- /см 1, а при 4,2 К

= 10 ом — 1/см — 1, что позволяет изготовить датчики температуры с сопротивлением 10> ом при комнатной температуре и 10а ом при гелиевых температурах.

Окиснооловянные пленки, легированные сурьмой обладают высокой химической стойкостью, влагостойкостью, высокой адгезией к поверхности подложки.

Применение двуокиси олова, легированного сурьмой в количестве до 60 мол. в качестве

10 материала для изготовления пленочных резистивных датчиков температуры.