Высокочастотная плазменная печь

Высокочастотная плазменная печь

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

<1л ЗОО!34

ИЗОБРЕТЕН ЙЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДИЕЛЬСТВУ

Республик (61) Зависимое от авт. свидетельства— (22) Заявлено 28.11.67 (21) 1199833/26-25 (51) М. Кл. H 05h 1/02 с присоединением заявки— (32) Приоритет—

Опубликовано 05.11.75. Бюллетень ¹ 41

Дата опубликования описания 05.03.76

Государственный комитет

Совета Министров СССР по делам изобретений

ы открытий (53) УДК 621.387.143 (088.8) (72) Автор изооретения

P. М. Рубинер (71) Заявитель (54) ВЫСОКОЧАСТОТНАЯ ПЛАЗМЕИ РАЯ ПЕЧЬ

Изобретение относится к электроразрядным источникам плазмы непрерывного действия с высокочастотным разрядам.

Известны высокочастотные пл азменные печи, состоящие из диэлектрического трубчатого корпуса, охваченного индуктором, расположенного внутри корпуса цилиндра из медных трубок, и патрубка подачи рабочего газа. Пространство между корпусом и трубчатым цил индром всюду сообщается с разряд- 10 ным объемом и не имеет отдельного подвода газа.

Однако эти печи отличаются погасанием разряда при увеличении его мощности, что вызова но шунтираванием трубок ц|илиндра плазмой.

Данное изобретение позволяет увеличить верхний предел электрической мощности печей.

Это достигается постановкой на трубчатом 20 цил,индре диэлектрических обечаек и колец, герметизирующих цилиндр всюду, кроме зоны разряда. Радиальный ввод газа со стороны корпуса,в зону разряда препятсввует распространению плазменной области до трубчатого 25 цилиндра и тем самым предотвращает шунтирова ние трубок.

На чертеже .представлена предлагаемая лечь.

Она содержит диэлектрический полый корпус 1, охваченный индуктором 2. Внутри корпуса 1 расположен цилиндр, составленный из охлаждаемых трубок 8. В одном из торцов корпуса имеется патрубок 4 подачи газа в зону разряда. Ча сти трубчатого цилиндра вне зоны разряда герметизированы снаружи диэлектрическими обечайками 5. Зазор между корпусом 1 и цилиндром герметизирован кольцами б с патрубками 7 дополн|ительной подачи газа.

Работает данное устройство следующим образом. Включается, подача охладителя в корпус 1, индуктор 2, трубки 8 и в рубашку патрубка 4. Включается подача газа в патрубки 4 и 7. Далее подается .напряжение на индуктор 2, возбуждается .высокочастотный разряд, и печь выводится на заданный режим.

Предмет изобретения

Высокочастотная плазменная печь, состоящая из диэлектрического полого корпуса, охваченного индуктором, имеющего внутри цилиндр, составленный из охлаждаемых трубок, и снабженного патрубком подачи газа в зону разряда, отличающаяся тем, что, с целью увеличения верхнего предела электрической мощности, в ней на трубчатом цилиндре установлены обечайки из диэлектрика, например

300134 между корпусом и трубчатым цилиндром, причем указанные кольца имеют патрубки дополнительной подачи газа.

Составитель Н. Ермохин

Техред Е. Подурушина

Редактор Т. Ларина

Корректор И. Симкина

Заказ 142/204 Изд ¹ 102 Тираж 869 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Тпп. Харьк. фил. пред. «Патент» асбеста, герметизирующие цилиндр всюду, кроме зоны разряда, и кольца, герметично закрывающие торцовые участки пространсвва

Д

1 @

О©Оа

)/ /