Установка для нанесения покрытий в вакууме на ферромагнитные детали

Установка для нанесения покрытий в вакууме на ферромагнитные детали

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

30l380

ОП И САНИ Е

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства ¹

Заявлено 19.Xll.1969 (¹ 1386811/22-1) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 21.1Ч.1971. Бюллетень Лй 14

МПК С 23с 13/08

Комитет па делам изобретений и открытий при Совете Министров

СССР

УДК 621.733,14.002.52 (088.8) Дата опубликования описания 1.VI.1971

Автор изобретения

Г." - °,: т: л

" ; ((/при Г сплащ

А. Г. Зеберин

Заявитель Специальное конструкторское бюро вакуумных покрытий

Латвийской ССР

УСТАНОВКА ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ В ВАКУУМЕ

НА ФЕРРОМАГНИТНЫЕ ДЕТАЛИ

Изобретение относится к области нанесения покрытий в вакууме.

Известна установка для нанесения покрытий в вакууме на ферромагнитные детали, содержащая вакуумную камеру, внутри которой расположены испарители и экспонирующее устройство, и механизмы для загрузки и выгрузки деталей.

Предложенная установка отличается от известной тем, что экспонирующее устройство выполнено в виде размещенных параллельно друг другу по кривой полых цилиндров, внутри которых установлены электромагниты с чередующимся направлением полюсов, причем внешняя по отношению к испарителям сторона цилиндров охвачена ярмом магнитопровода, а магнитные оси смежных электромагнитов смещены на постоянный угол в направлении против вращения цилиндров. Это обеспечивает получение равномерных покрытий и более полное использование испаряемого вещества.

На чертеже показана описываемая установка.

Она состоит из вакуумной камеры (на чертеже не показана), внутри которой располо>кены испарители 1 и экспонирующее устройство, выполненное в виде размещенных параллельно друг другу по кривой полых цилиндров 2, внутри которых установлены электромагниты 3 с чередующимся направлением

5 полюсов, причем внешняя по отношению к испарителям сторона цилиндров охвачена ярмом 4 магнитопровода, а магнитные оси смежных электромагнитов смещены на постоянный угол в направлении против вращения ци10 линдров 2. К крайним цилиндрам примыкают механизмы 5 и б для загрузки и выгрузки деталей.

Детали 7, подлежащие покрытию, с на15 правляющей питателя поступают на поверхность первого цилиндра, где либо прилипают к нему, либо попадают в щель механизма 5 для загрузки, возвращающего их на поверхность цилиндра. Детали, прилипшие к поверх20 ности первого цилиндра, вращаются вместе с ней до встречи с поверхностью следующего цилиндра. Пои этой встрече происходит прилипание детали к цилиндру уже другой стороной, вследствие чего детали проходят через

25 зону действия испарителей 1, периодически переворачиваясь, что способствует получению равномерного покрытия. Пройдя последний цилиндр, детали при помощи механизма б для разгрузки отделяются от его поверхности и

30 падают в приемный бч нкер.

301380

Предмет изобретения

Составитель И, Резник

Редактор Н. Л. Корченко Текред Л, 8. Куклина Корректор О. С. Зайцева

Заказ 1401 1 1Лзд. М 507 Тираж 473 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, 5К-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2

Установка для нанесения покрытий в вакууме на ферромагнитные детали, содержащая вакуумную камеру, внутри которой расположены испарители и экспонирующее устройство, и механизмы для загрузки и выгрузки деталей, отличающаяся тем, что, с целью получения равномерных покрытий и более полного использования испаряемого вещества, экспонирующее устройство выполнено в виде расположенных параллельно друг другу по кривой полых цилиндров, внутри которых установлены электромагниты с чередующимся направлением полюсов, причем внешняя по отношению к испарителям сторона цилиндров охвачена ярмом магнитопровода, а магнитные оси смежных электромагнитов смещены на постоянный угол в направлении против вра10 щения цилиндров.