Комплект приспособлений для выполнения химико- технологических операций

Комплект приспособлений для выполнения химико- технологических операций

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Сс î"". Сссетских

Сацивлистичвск х

Реслублик

ИЗОБРЕТЕИ Ия

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Загиспмое от авт, свидетельства №вЂ”

Заярленс 17.11.1970 (¹ 1105219. 26-25), МПК Н 1;l. 7 68 с Il P i i c 0 c;1111! е 111! е .и з 1:i B к! 1 ¹ иуитет пс делен и;:и Совете,"1и",..Iñòðoâ

СССР

Прпорптет—

Оп»блик .BI о 1КЧ.1971. Б1оллс. е .;, ¹ 16 ДК 621.382.8 (088.8) Дата опубл11ковапия описания 291 П.1971.

- тпторы чзооретения

Б. Б. Новиков, С. К. Тулинов, В. Е. Тюлягин .. В. И. Царенко

Заязитель

КОМПЛЕКТ ПРИСПОСОБЛЕНИЙ ДЛЯ ВЫПОЛНЕНИЯ

ХИМИКО-ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ ОП ЕРАЦИ Й

11зобретспие oii:Oñèтся к производству полупроводников, в частности к устройствам для х и 3111 ч е с ко» 0 б 13 <1 О 0 т к11 пластин.

Известны кассеты различных конструкций для хп,itlt÷cñt(OÏ Ооработки полуГ1130водниковых пластин и их мсжоперационнои транспортировки. Перегрузка пластин из кассет для обработки в кассеты для межоперационной транспортировки осуществляется либо с помощью пинцета, либо с помощью вакуумных присосок. Такая перегрузка каждой пластины отнимает много времени и приводит к загрязнению и механическим повреждениязt пластин.

Целью изобретения является повышение качества обработки пуTcм исключения контактирования рабочей поверхности пластин с перегрузочными устройствами и увеличенис производительности.

Для этого предложенный комплект снабжен приспособлением для взаимной ориентации рабочей кассеты и кассеты для межоперационной транспортировки, выполненным в виде диска с хвостовиком и направляющими на торцовой части. Кассета для межоперационной транспортировки представляет собой диск с гнездами под пластины, имеющий вырезы, соответствующие профилю рабочей кассеты и превышающие его по размерам.

На фиг. 1 и 2 показано приспособление для ориентации рабо:1ей кассеты с кассетой для межоперационной транспортировки псрсд перегрузкой и после перегрузки полупроводниковых пластин; на фиг. 3 — комплект приспособлений в плане.

Ко .11 IIJICI(T Ilp1ICHОCÎO;IBH It I I для 131>1110ЛHсHII51 химико-технологических операций содержит приспосоолсние 1 для взаимной opiicнтации рабочей кассеты 2 и кассеты 8 для мсжопераци10 онной транспортировки. Приспособление 1 выполнено в виде диска, снабженного хВосТ0В»ко» 4 с ориентирующей рабочую кассету концевой частью э и направляющими 6 для ориентации кассеты 8.

l5 Рабочая кассета 2 имеет выступ 7 для укладки пластин и посадочное отверстие 8. Кассета 8 для межопсрационной транспортировки имеет углубления 9 для размещения пластин 10 и направляющие отверстия 11. По профилю ра20 бочей кассеты 2 в кассете 8 выполнены выре3hI 12, при этоз1 между профилем кассеты 2 11 вырезами в кассете 8 предусмотрен рабочий зазор.

Подготовленные к обработке пластины 10, 25 размещенные в углублениях 9 кассеты 8, поступают на рабочее место. Кассета 8 опускается иа рабочую кассету 2, размещенную на приспособлении 1 и ориентированную с помощью концевой части 5 и хвостовика 4. При опуска60 нии кассета 8 ориентируется относительно ра303680 (>очей к (сеcT«l 2 с помощь!о отверст((Й 11 пo IIBиравляющим б. Поскольку между вырезами 12 и кассете 1 и профилем рабочей кассеты 2 It(tc10 т с Я 3 Я 3 0 Р 1>l и Я с с с т а, 5 c II o () o, T H 0 О п >>> c K B c T c H I I i1

;!риспособлснис 1, при этом пластины 10 остаются ия выступа.; 7 рабочси кассеты. После этого ряоочяя кассета вместе с пластинами

IIO>7IIifil BCTC5I и и (пря!3 15ICTC51 lf(l обр (бот!О> . HO окоп lclllllll обработки ряоочая кассета 2 вновь иядсьястся иа <востовик 4 и опускается до кон !BI<ТИР0ВаПИЯ С ТОРЦОВОЙ >IBCTI>IO IIP HCIIOCO()ЛСи и я 1. Кяссстя ) поднп >(ястс51 тя и, «то пляс 1 ив!>1 10 01<язывя10тся в ) гл О>7спи5!. < 9, It тг)япс!

IOJ)ТИР) СТСЯ Il B СЛСД > !OIL((10 OIICP !I li!IIO.

П JJ с д >1 с l! 3 О б p c T c II 1! 51

1. КО)! ИЛ Ск7 пр ИСИОСОО ICII I I II;(751 13ьп!ОЛ и >Iff !51 <имико-тс:<пологи Icclt_#_ пластftf(Bx, содержащий раОО IV!0 КВСССТМ И I

И ВСЛ И«СИИ(l ПРО ИЗВОДПТСЛЬИОСТИ, Ои СПЯ О>КСН приспособлением для взаимной орис!Вгяции р;1бочсй кассеты 11 кассеты для мс>коисрационной транспортировки.

2. Комплект приспособлений Ifo f!. 1> (/т.!!!10 !0/oLLLL/Йсл Tc)I, !7 О ПРисиосоолсиис Д,IЯ 133;и(мной ориентации рабо !сй кассеты и кассеты Ië51 ме)копер(!циопиой! транспорт lp0(II<11 «ыиолнсио

13 ВИДС ДИС1<Я С ! И H B I1() B 13Ë 5! I(! IÖÈ)I I!

1(а Тор110130й (ЯС1 I?. !

3. Коми IclLLLJ CЛ ТСМ, !TO 1 (1СССТЯ ДЛЯ МС)КОИСР I IIIIOIIIIoH траисиортироькп выполнена в виде диска с гнездами под пластины, имеющего вырезы, со20 OTI3cTcT13>, IO(HHc IIJ)o(t)1!,110 J) B(!0>tcÉ кя(c(. i ы I! превышающие его размеры.

303680 с,, я 7

1 .

I

1

t !

) моиг 3

Сс"т-изитсль Н. П. Островская

Родик нор T. 3. Орловская 1 ск1и Т. П. Курилко Коррскгор T. А. Джаманкулова

Заказ 3879 Изд. 717 1 повис 473 11од.и.сиоп

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, K-85, Раугяская наб., д. 4/5

Областная -.;è;ïîãðàôèÿ Кос".ромского управления по печатм