Устройство для изготовления шаблонов интегральных схем

Устройство для изготовления шаблонов интегральных схем

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОПИСАНИЕ 305443

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистинеских

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 19.Х11.1969 (№ 1387021/26-9) МПК G ОЗЬ 7/12 с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 04Л 1.1971. Бюллетень ¹ 18

Дата опубликования описания 5Х11.1971

Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров

СССР

УДК 621.382:535.8 (088.8) Авторы изобретения А. В. Ирлин, К. В. Кравченко, Ю. С, Ханжонков и М. Н. Славич

Заявитель

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ШАБЛОНОВ

ИНТЕГРАЛЪНЫХ СХЕМ

Известны аналогичные устройства.

В предлагаемом устройстве для изготовления шаблонов интегральных схем, с целью удобства эксплуатации, в прямоугольном отверстии рамки размещена каретка П-образного сечения с продольными пазами на внешней стороне ее для размещения шариков сепаратора, позволяющих перемещаться каретке по осям Х и У.

На фиг. 1 — изображено описываемое устройство, общий вид; на фиг. 2 — конструкция одного из сменных устройств мультипликации.

Сменное устройство мультипликации 1 с фотокассетой расположено на базовой плите

2 со штифтами для посадки и центровки этих устройств мультипликации и резьбой для установки сменных объективов 8. Базовая плита укреплена на жесткой раме, на которой закреплены штанга 4 крепления измерительного микроскопа, ручной затвор фотоустановки 5, фотооригинал б, который крепится прижимной планкой 7 и подсвечивается снизу светильником 8 с лампами дневного света.

Сменное устройство мультипликации выполнено следующим образом. Основание 9 устройства, в котором сделаны точные отверстия 10 под штифты центровки, расположено на базовой плите. На основании расположен механизм устройства, который представляет собой двухкоординатную систему кареток, а именно — каретки внешней 11 с накладками

12 и 18 для перемещений по Х и У координатам соответственно, и каретки внутренней 14 с накладками 15 и 1б, определяющими количество и точность мультипликаций.

Накладки, а также боковые поверхности основания и внутренней каретки 14 имеют фрезерованные пазы — продольные для размещения шариков сепаратора в накладках 12 и 13

10 а также на боковых поверхностях основания и внутренней каретки и поперечные — в накладках 15 и 1б для западания шариков стопорного механизма жесткой фиксации перемещений кареток относительно друг друга при д мультипликации.

В центре основания расположено отверстие

17 без резьбы, необходимое для прохождения оптических лучей объектива.

В центре внутренней каретки расположено

20 окно 18 для контроля на микроскопе размеров изображений при первичной настройке установки. Внутри каретки выфрезирован паз 19 для размещения фотокассеты с фотопластинкой.

Предмет изобретения

Устройство для изготовления шаблонов интегральных схем, содержащее основание, измерительный микроскоп, систему подсветки, 30 фиксирующее устройство и мультиплицир .ю305443

18 !9

1 1

J I

15

17

Фиг.1

Составитель А. Мерман

Текрсд 3. К. Тараненко

Редактор Е. Гончар

Корректор T. А. Китаева

Заказ 1847/12 Изд. № 776 Тираж 473 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, К-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2 щее устройство, выполненное в виде перемещающейся по основанию по осям Х и У плоской рамки с прямоугольным отверстием, поперечными пазами в нижней плоскости и продольными пазами на внутренних стенках рамки для размещения шариков сепаратора, от,гичающееся тем, что, с целью упрощения конструкции и повышения удобства эксплуатации, в прямоугольном отверстии рамки размсщена каретка П-образного сечения с продолными пазами на ее внешней стороне, взаимо5 действующими с шариками сепаратора при перемещении каретки по осн У.