Электродуговой испаритель металлов

Электродуговой испаритель металлов

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Союз Советских

Социалистических

Республик

ОП ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВКДИТВЛЬСУВУ

ЗОуббб (61) Дополнительное к авт. свил-ву(22) Заявлено 09.09.68 (21) 1351206/22-01 с присоединением заявки № (23) Приоритет

Опубликовано05.01.79.рюллетень № 1

Дата опубликования описания 08.01.79 г (51) М. Кл.

С 23 С 13f1

Государственный комвтет

СССР но делам иэебретенкй

И OTKPblTNN (53) УДК 621.793.

14 002 52 (088. 8) Л. П. Саблев, Н. П.-Атаманский, В. 11. Горбунов, Ю. И. Долотов, В. H. Луценко, В. М. Лунев и В. В. Усов (72) Авторы изобретения (71) Заявитель (54) ЭЛЕКТРОДУГОВОЙ ИСПАРИТЕЛЬ METAIlIIOB

Изобретение относится к области нанесения покрытий в вакууме.

Известен электродуговой испаритель металлов, содержаший корпус, катод, поджигаюший электрод и анод.

С целью повышения стабильности горе- 5 ния дуги в предлагаемом испарителе имеется соленоид, расположенный снаружи выполненного из немагнитного материала корпуса, внутри которого коаксиально размешен катод. 10

На чертеже представлен предлагаемый испаритель, общий вид.

Испаритель содержит выполненный из немагнитного материала корпус 1,. внутри которого коаксиально размешен катод 2, поджигаюший электрод 3, анод 4 и соленоид 5, расположенный снаружи корпуса.

Дуга возбуждается кратковременным прикосновением поджигаюшего электрода

3 к поверхности катода 2 и горит в парах 2О металла катода между рабочей поверхностью катода (той, с которой происходит испарение металла) и внутренней поверхнос тью оболочки анода при сколь угодно низком давлении остаточных газов в вакуумной камере, Так как анод 4 выполнен в виде оболочки, охватываюшей рабочую поверхность катода, то потоки металлической плазмы, образованные в катодной области дугово го разряда, беспрепятственно достигают внутренней поверхности оболочки.

Через столб плазм, заключенный меж ду катодной областью дуги и анодом, осуществляется перенос тока между электро дами. Необходимым условием стабильного горения дуги является беспрепятственное достижение плазмой поверхности анода.

Это возможно, если анод охватывает со всех сторон рабочую поверхность катода.

Так как боковая поверхность катода нахо дится в скрешенных электрических и маг нитных полях, а его рабочая (торцовая) поверхность в параллельных, то катодное пятно дугового разряда перемешается преимущественно по рабочей поверхности.

307666

Составитель И. Резник

Редактор Т. Колодцева ТехредН. Лндрейчук Корректор Jl. Веселовская

Заказ 73B2/1 Тираж $4Lg Подписное

Ш111И!1И Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП "11ате т, г. Ужгород, ул. Проектная, 4

Этим самым достигается стабилизация катодного пятна на рабочей поверхности катода,а следовательно, потоки плазмы могутбеспрепятственно достигать поверхности анода.

Формула изобретения

Электродуговой испаритель металлов, одержащий корпус, катод, поджигающий злектрод и анод, о т л и ч а ю щ и й— с я тем, что, с целью улучшения стабильности горения дуги в испарителе, он снабжен соленоидом, расположенным снаружи

Б выполненного из немагнитного материала корпуса, внутри которого коаксиально размешен катод.