Испарительное устройство для вакуумных установокf^ г> & ' f~l •" |_! л '—воесою:патентко-иbh5;;i'io

Испарительное устройство для вакуумных установокf^ г> & ' f~l •" |_! л '—воесою:патентко-иbh5;;i'io

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

30907l

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 22.XII.1969 (PLo 1387160/22-1) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 09.VII.1971. Бюллетень № 22

Дата опубликования описания 7.Х.1971

МПК С 23с 13/12

Комитет по лелем ивобретений и открытий при Совете Министров

СССР

УДК 621.793.14.002.51 (088.8) Авторы изобретения

А. Н. Жунда, А. Г. Зеберин и И. Н. Ракитина

Специальное конструкторское бюро вакуумных покрытий

Заявитель

И СПАРИТЕЛЪНОЕ УСТРОЙСТВО

ДЛЯ ВАКУУМНЫХ УСТАНОВОК

Изобретение относится к устройствам для нанесения вакуумных покрытий.

Известно испарительное устройство для вакуумных установок, содержащее нагревательный и испарительный элементы, неподвижный и подвижный токоподводы.

Предлагаемое устройство отличается от известного наличием вакуумплотно закрепленной в корпусе неподвижного токоподвода эластичной мембраны из электроизоляционного материала, жестко связанной с подвижным токоподводом. Такое устройство надежнее в работе.

На чертеже представлен общий вид описываемого устройства.

Устройство состоит из нагревательного элемента 1, испарительного элемента 2, неподвижного токоподвода 8, подвижного токоподвода 4 и вакуумплотно закрепленной в корпусе неподвижного токоподвода эластичной мембраны 5, жестко связанной с подвижным токоподводом. Устройство закреплено в вакуумной камере б таким образом, что эластичная мембрана является границей между откачиваемым объемом вакуумной камеры и атмосферой, и расположено под подложкой 7.

После достижения в вакуумной камере необходимого разряжения эластичная мембрана 5 воздействует с силой, определяемой разностью давлений между остаточными газами в вакуумной камере и атмосферой, на жестко связанный с нею подвижный токоподвод 4, ко5 торый контактирует под действием этой силы с нагревательным элементом 1.

При подключении устройства к источнику питания генерируемое в нагревательном элементе тепло передается испарительному эле10 менту как путем контактирования с ним, так и излучением, разогревая его до рабочей температуры. При подаче в испарительный элемент испаряемого вещества происходит его расплавление и испарение. Образующийся при

15 испарении молекулярный поток вещества достигает подложки 7 и осаждается на ней.

Предмет изобретен ия

Испарительное устройство для вакуумных

20 установок, содержащее нагревательный и испарительный элементы, неподвижный и подвижный токоподводы, отличающееся тем, что, с целью повышения надежности работы, оно снабжено вакуумплотно закрепленной в кор25 пусе неподвижного токоподвода эластичной мембраной из электроизоляционного материала, жестко связанной с подвижным токоподводом.

309071

Составитель И. Резник

Редактор Т. Н. Каранова Техред Л. Л. Евдоиов Корректор А. П. Васильева

Заказ 2339/6 Изд. № 981 Тираж 473 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров ССС1

Москва, 7К-35, Раушская наб., д, 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2