Способ контроля фотошаблонов

Способ контроля фотошаблонов

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОПИСАНИ Е

ИЗОБРЕТЕНИЯ

3094I5

Союз Соеетских

Социалистических

Республик

Зависимое QT BBT. свидетельства

Заявлено 01.Х11.1969 (№ 1381477/26-25) МПК Н Oll 7/64 с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 09У11.1971. Бюллетень ¹ 22

Дата опубликования описания 11 A 111.1971

Комитет по делам изобретекий и открытий при Сосете Министров

GCCP

УДК 621.328.001.3 (088,8) Авторы изобретения

Л. H. Петров и Н. Н. Тонких

Заявитель

СПОСОБ КОНТРОЛЯ ФОТОМАБЛОНОВ

Изобретение относится к мш<роэлектронной технике, в частности к производству полупроводниковых приооров.

К комплектам фотошаблонов предъявляют повышенные требования, так как допуски HQ размеры элементов и расстояния между ними составляют 1 — 2 лх Точность совмещения всех элементов одного фотошаблона с соответствующими элементамп других фотошаблонов не должна выходить за пределы установленных допусков. Следовательно, контроль и проверка взаимного расположения элементов на поле фотошаблона и размеров самих элементов в технологическом процессе изготовления фотошаблонов имеют первостепенное значение.

Известен способ контроля фотошаблопов, полученных после мультиплицпрования, при котором проверку размеров элементов и их взаимного расположения производят с помощью универсальных оптических приборов

МИИ-4, ЧП-2, УИМ-23. Проверяемый фотошаблон устанавливают на микроскопе и производят замеры размещенных на фотопластине элементов проектируемой интегральной схемы, после чего судят о точности полученного фотошаблона. Этот способ очень трудоемкий, так как на проверку каждого фотошаблона и особенно такого, который содержит 200 и более элементов, затрачивается много времени.

Кроме того, недостатком способа является отсутствие точного контроля расположения

5 одного элемента фотошаблона относительно другого при совмещенки комплекта фотошаблонов для фотолитографии.

Целью изобретения является уменьшение трудоемкости контроля фотошаблонов.

10 Для этого, согласно предложенному способу, на взаимно перпендикулярнь|х осях белка-оригинала наносят прозрачные и непрозрач ые квадраты, расстояние между центрами KQTopbIx берут равным шагу мультиплици15 рования, умноженному на масштаб белка-оригинала, а разность линейных размеров квадратов, расположенных на каждой оси, берут равной удвоенному допуску на совмещение комплекта фотошаблопов, умноженному на

20 масштаб белка-оритчшал. Точность полученного фотошаблона определяют по фигурам, получившимся в результате наложения изображений прозрачных и непрозрачных квадратовв.

25 На фиг. 1 изображе.i белок-оритчша, с которого получают промежуточный фотошаблон, а затем в натуральных размерах окончательный фотошаблон; на фиг. 2 — участок правильно изготовленного фотош аблона; на

30 фиг. 3 — участок фотошаблона, полученного

Фиг.4

Составитель В. Гришин

Редактор T. 3. Орловская Тскред А. A. Камышникова Корректор О. И. Волкова

Заказ 2175/15 Изд. ¹ 953 Тираж 473 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретенпй1 и открытий прп Совете Министров ССС"

Москва, К-35, Раушск" я наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2