Способ измерения скорости испарения в вакууме

Способ измерения скорости испарения в вакууме

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

3I0 954

О П И CA Н И Е

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 10.IX.1969 (№ 1361609/26-9) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 09Х111.1971. Бюллетень ¹ 24

Дата опубликования описания 1.Х.1971

МПК С 23с 13/00

Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров

СССР

УДК 621.793.14 (088.8) Б ; Q."OÇH ß

Ь Б," ;10, ЕЕА

Авторы изобретения

Ю. С. Родичев и Ш. A. Фурман

Заявитель

СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ СКОРОСТИ ИСПАРЕНИЯ В ВАКУУМЕ

Изобретение относится к технике нанесения покрытий в вакууме и может быть использовано для контроля скорости осаждения тонких слоев на подложку.

Известны способы измерения скорости испарения в вакууме, основанные на регистрации количества испаряемого вещества, осевшего на измерительный элемент.

Однако точность измерения этих способов зависит от коэффициента конденсации испаряемого вещества, который, в свою очередь, изменяется в зависимости от условий испарения.

По предлагаемому способу для повышения точности измерения в качестве измерительных элементов используют термочувствительные элементы, помещенные на различном удалении от испарителя, и регистрируют разность их показаний.

В двух сечениях потока испаряемого вещества на разном удалении от испарителя помещают термочувствительные элементы, например термопары, соединенные по дифференциальной схеме. Энергия частиц испаряемого вещества, осевших на спай термопары превращается в тепловую, за счет чего возникает (термо-э.д.с.) термопары.

B рабочих условиях на термопары воздействует также излучение испарителя и других

Элементов подколпачной "истемы.

Для любого момента времени термо-э.д.с. термопар зависит от теплового баланса термопар, работающих в вакууме, с учетом потерь тепловой энергии за счет теплопроводности контактов и излучения. Влияние на разность термо-э.д.с. термопар различных составляющих, за исключением составляющей, зависящей от нагрева осажденными частицами, может быть исключено, например, с помощью

10 компенсации от внешнего источника постоянного тока.

На термопарах, расположенных на неодинаковом расстоянии от испарителя, оседает разное количество вещества, поэтому нагрев, а

15 следовательно, и термо-э.д.с. термопар будут различны. Эта разность термо-э.д.с. термопар, пропорциональная скорости испарения вещества, измеряется прибором, отградуированным по скорости испарения.

Предмет изобретения

Способ измерения скорости испарения в вакууме, основанный на регистрации количества испаряемого вещества, осевшего на измери2S тельный элемент, отличающийся тем, что, с целью повышения точности измерения, в качестве измерительных элементов используют термочувствптельные элементы, помещенные на различном удалении от испарителя, и ре30 гистрируют разность их показаний.