Всгсоюзная ' -т-и^гф • .•?'4мур*''ймi л ^й г rtu s ^а«"' 's- ""**dhb.woteka

Всгсоюзная ' -т-и^гф • .•?'4мур*''ймi л ^й г rtu s ^а«"' 's- ""**dhb.woteka

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОП ИСАН И Е

ИЗОБРЕТЕНИЯ

Союз Советокик

Социалистические

Ресоублик

К ПАТЕНТУ

Зависимый от патента №

Заявлено 02.XI.1966 (№ 1110953/1156026/22-1) МПК С 23с 13/08

Приоритет 17.XII.1965, № 21744, Бельгия

Комитет оо делам изобретений и открытий ори Совете Министров

УДК 621.793.14.002.52 (088.8) Опубликовано 19Х!11.1971. Бюллетень № 25

СССР

1 Дата опубликования описания 18.Х.1971

Автор изобретения

Иностранец

Мишель Блок (Бельгия) Иностранная фирма

«Коммюноте Еропеен л Енержи Атомик (Евратом) (Бельгия) Заявитель

УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ В ВАКУУМЕ

Предмет изобретения

Изобретение относится к области нанесения покрытий в вакууме.

Известно устройство для нанесения покрытий в вакууме, содержащее вакуумную камеру, внутри которой расположены электроды, и трубопровод для подачи газа.

Предложенное устройство отличается от известного тем, что электроды выполнены в виде катушки индуктивности, изготовленной из напыляемого материала, на продолжении оси которой расположен трубопровод для подачи газа. Это повышает производительность труда и увеличивает адгезию пленок к подложке.

На чертеже изображено предложенное устройство, общий вид.

Устройство включает вакуумную камеру 1, внутри которой расположены электроды, выполненные в виде катушки индуктивности 2, изготовленной из на пыляемого материала, на продолжении оси которой расположен трубопровод 3 для подачи газа.

Напряжение высокой частоты подается с генератора 4 через повышающий трансформатор б на катушку индуктивности 2. Частоту генератора 4 можно изменять емкостью 6 в пределах от 2 до 30 мги. Генератор 7 постоянного тока высокого напряжения подключен своим отрицательным полюсом к покрываемой детали 8, а положительным полюсом — к стенке вакуумной камеры 1.

5 Под влиянием электромагнитного поля высокой частоты, создаваемого катушкой индуктивности, газ, подаваемый .в центр катушки индуктивности 2 по трубопроводу 8 ионизпруется и образует плазму. Возбужденные ча10 стицы последней выбрасываются к катушке индуктивности и вырывают из нее молекулы вещества, из которого она изготовлена, распространяясь по всему объему камеры 1. В результате на деталь 8 наносится покрытие.

Устройство для нанесения покрытий в вакууме, содержащее вакуумную камеру, внутри

20 которой расположены электроды, и трубопровод для подачи газа, отличающееся тем, что, с целью повышения производительности и увеличения адгезии пленок к подложке, электроды выполнены в виде катушки индук25 тивности, изготовленной из напыляемого материала, на продолжении оси которой расположен трубопровод для подачи газа.

312426

Составитель E. P. Алешин

Редактор T. 3. Орловская Техред Е. Борисова

Корректор О. С, Зайцева

Типография, пр. Сапунова, 2

Заказ 2767/17 Изд. № 1162 Тираж 473 Подписное

ЦНИИПИ Комитета но делам изобретений и открытий прн Совете Министров СССР

Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5