Испаритель-контейнер для вакуумного силицирования
Патент 312898
Классы МПК
Испаритель-контейнер для вакуумного силицирования
Иллюстрации
Реферат
312898
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Советских
Социалистических
Республик
Зависимое от авт. свидетельства №
МПК С 23с 13/04
Заявлено 08.Õ11.1969 (№ 1382657/22-1) с присоединением заявки №
Приоритет
Опубликовано 22.Х!.1971. Бюллетень № 26
Дата опубликования описания 22.XI.1971
Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров
СССР
УДК 793.06:669.782 (088.8) Авторы изобретения
М. И. Юрченко и В. С. Овчинников
Заявитель
ИСПАРИТЕЛЪ-КОНТЕЙНЕР ДЛЯ ВАКУУМНОГО
СИЛ ИЦИРОВАН ИЯ
Изобретение относится к устройствам, применяемым в области химико-термической обработки, в частности при вакуумном силицировании.
Известен испаритель-контейнер для вакуумного силицирова|ния, изготовленный из монолитного кремния, имеющий цилиндрическую рабочую полость, по объему намного превышающую обрабатываемое изделие. Изделие подвешивается в полости на проволоке из тугоплавкого металла. Сверху полость неплотно прикрывают кремниевой крышкой.
Известный контейнер не обеспечивает получение сплошных и равномерных по толщине силицидных слоев на деталях сложной конфигурации, С целью повышения равномерности и сплошности силицидного слоя на обрабатываемых изделиях в предлагаемом испарителе-контейнере рабочая полость выполнена таким образом, что она имеет конфигурацию и объем обрабатываемого изделия, а сам контейнер выполнен пористым. Такое выполнение позволяет исключить подвешивание детали, являющееся трудоемкой операцией и нарушающее сплошность покрытия. Кроме того, в предлагаемом контейнере каждому элементу поверхности изделия противолежит равный ему .по площади элемент испаряющей поверхности, причем расстояние между поверхностями полости и изделия везде практически одинаково.
На фиг. 1 показан предлагаемый испаритель-контейнер; на фиг. 2 †дета для ва5 куумного силицирования.
Испаритель-контейнер представляет собой кремниевый брикет 1, имеющий рабочую полость 2, конфигурация которой отвечает конфигурации обрабатываемой детали прн ра1о венстве их объемов с учетом толщины силицидного слоя.
Подлежащую cíëèöèðîâàíèþ деталь помещают в полость, кремниевый брикет 1 закрывают крышкой 8, после чего испаритель15 контейнер готов к употреблению. Контейнер может быть многоместный и использоваться неоднократно.
Изготовление испарителя-контейнера из пористого .кремния позволяет производить от2о качку полости на вакуум через поры в стенках. В случае использования плотного кремния откачку производят через зазоры между составными частями контейнера. При использовании пористых испарителей-контейнеров
25 площадь возможного твердого контакта изделия с кремнием сводится к минимуму.
При обработке детали в предлагаемом контейнере получены следующие результаты: силицированный слой является сплошным и
30 весьма равномерным, максимальное отклоне312898
Предмет изобретения
Фиг. 2
Фиг. 1
Составитель В. Хацернова
Редактор М. В. Макарова Техред Л. Евдонов Корректор 3. И. Тарасова
Заказ 3093/16 Изд. № 1265 Тираж 473 Подписное
ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5
Типография, пр. Сапунова, 2 ние толщины слоя MoSi> от среднего значения не превышает 10,5%.
1. Испаритель-контейнер для вакуумного силицирования, изготовленный из кремниевого брикета, имеющий рабочую полость, отлииаюи1ийся тем, что, с целью повышения равномерности и сплошности силицидного слоя на обрабатываемых изделиях, конфигурация н объем его рабочей полости соответствуют конфигурации и объему обрабатываемого изделия.
2. Контейнер по п. 1, отлииа>ошийся тем, что он выполнен пористым.