Алмазный инструмент

Алмазный инструмент

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

иа1 о и тгс к н и е

И ЗОБ РЕТЕ Н ИЯ

3I36I4

Сова Соаетскив

Социалистическив

Республик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Зависимое от а вт. свидетельства №вЂ”

Заявлено 12.II I.1970 (М 1413969/25-8) с присоединением заявки ¹â€”

Приоритет—

Опьбликовано 07.IX.1971, Бюллетень ¹ 27

МПК В 23b 27/20

Номитет по делает иаооретений и открытий йри Совете Мииистроа

СССР

УДК 621.9.025,7(088.8) Дата опубликования описания I.XI I.1971

Авторы изобретения

А. И. Боровской, А. В. Гуренков, А. Н. Цветков, Б. М. Чергин, М. Е. Каминский, Г. А. Зеликсон, Г. А. Рено и Л. В. Зеленцов

Всесоюзный научно-исследовательский и конструкторско-технологический институт природных алмазов и инструмента

Заявитель

АЛМАЗНЫЙ ИНСТРУМЕНТ

Известен алмазный инструмент для скрайбирозания полупроводниковых пластин на кристаллы,,рабочая часть которого выполнена в виде пирамиды с острыми режущими кромками.

Описываемый инструмент отличается от известного тем, что его режущие кромки выполнены закругленными. Это обеспечивает повышение качества резки и стойкости инструмента.

На фиг. 1 изображен описываемый инструмент; на фиг. 2 — рабочая часть инструмента, вид сбоку; на фиг. 3 — разрез по А — А на фиг. 2; на фиг. 4 — вид,по стрелке Б на фиг. 2.

Инструмент содержит державку 1 и алмазную рабочую часть 2, которая имеет форму усеченной и неусеченной пирамиды, вершина и режущие кромки рабочей части выполнены закругленными. Радиусы скругления принимают порядка 003 мм, а р — 0,02 мм. Угол а между противолежащими ребрами выбирают в пределах от 90 до 140 . Длина /хорды дуги, 5 образованной на ребре,— не более 0,05 мм.

Описываемое изобретение предназначено для использования при изготовлении полупроводниковых приборов.

1о Предмет изобретения

Алмазный инструмент для скрайбирования полупроводниковых пластин на кристаллы, рабочая часть которого выполнена в виде пи15 рамиды, отличающийся тем, что, с целью повышения качества резки и стойкости инструмента, его режущие кромки выполнены закругленнымии.

313614

11

Фи г. 3

aP g ф

Составитель Л. Каменецкая

Техред 3. Н. Тараненко Корректор О. С. Зайцева

Редактор Т. Гаврикова

Заказ 6465 Изд. №,1227 Тираж 473 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, 7К-35, Раушская наб., д, 4/5

Областная типография Костромского управления па печати