Библиотека |

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОПИСАН И Е

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

3l6l63

Союз Соеетскик

Социалистическил

Республик

Зависимое от авт. свидетельства ¹

Заявлено 19.111.1970 (лй 1419789/26-9) с присоединением заявки ¹

Приоритет

Опубликовано 01.Х.1971. Бюллетень № 29

Дата опубликования описания 27.Х.1971

ЧПК Н 02m 7/52

Комитет по делам иаобретеиий и открытий при Совете Мииистоое

СССР

УДК 621.314.1:

:538.632 (088.8) Авторы изобретения

В. В. Матвеев и l0. В. Сурин

Заявитель

ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ НА ОСНОВЕ ЭФФЕКТА ХОЛЛА

Известны преобразователи на основе эффекта Холла с концентратором магнитного поля и датчиком Холла, выполненном в виде полупроводниковой пленки.

Недостаток известных устройств состоит в том, что они имеют предел работы по частоте не более 1 — 6 Мгц, а частотная характеристика нелинейна из-за изменения магнитной проницаемости феррита с частотой.

Однако известные устройства обладают большим объемом и не могут быть применены в пленочных микросхемах.

С целью улучшения частотной хар актер истики устройства и увеличения предела работы по частоте в предлагаемом устройстве концентратор магнитного поля выполнен в виде плоской спиральной катушки, расположенной на ситалловой подложке, поверх которой на диэлектрической пленке расположен датчик Холла.

На чертеже приведена конструкция предлагаемого преобразователя.

Устройство состоит из плоской спиральной катушки 1 с большой плотностью витков, являющейся концентратором магнитного поля и датчика 2 Холла,. напыленного на пленку диэлектрика 8, которая изолирует датчик

Холла от витков катушки.

Спиральная катушка намотана на стандартной ситалловой подложке 4 проводом

ПЭВ, диаметром 0,003 — 0,07 л лт, на свободной части которой может быть размещена пленочная микросхема. Пленка диэлектрика

5 и полупроводникового датчика Холла нанесены сверху на спиральную катушку последовательно. Датчик размещен вблизи центра концентратора магнитного поля. Применение тонкой пленки диэлектрика позволяет уве10 личить напряженность вертикальной составляющей магнитного поля, в области датчика, так как при приближении к поверхности плоской спиральной катушки напряженность магнитного поля резко возрастет.

Конструкция герметизирована компаундом

5 на основе эпоксидной смолы ЭД-6. Для увеличения вертикальной составляющей напряженности магнитного поля в 1,5 — 2 раза в

20 компаунд введен наполнитель из мелкодисперсного порошка ферромагнитного материала (например, карбонильного железа) .

Конструкция преобразователя в виде пло25 ской структуры позволяет получить практически линейную частотную зависимость напряжения Холла от частоты в диапазоне от инфразвуковых частот до частот ВЧ-диапазона (14 Мгц) и, тем самым, увеличить предел

30 работы по частоте до 14 Мгц.

Ы 6163

Предмет изобретения

/ г

Составитель А. Мерман

Техред 3. H. Тараненко Корректор Т. Л. Бабакина

Редактор Т. Морозова

Заказ 3034/9 Изд. № 1267 Тира>к 473 Подписное

Ц1!11ИП11 Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров C(Р

Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2

Преобразователь на основе эффекта Холла, содержащий концентратор магнитного поля и выполненный в виде полупроводниковой пленки датчик Холла, отличающийся тем, что, с целью улучшения частотной характеристики, увеличения предела работы по частоте, концентратор магнитного поля выполнен в виде плоской спиральной катушки, расположенной на ситалловой подложке, по5 верх которой на диэлектрической пленке расположен датчик Холла.