Устройство для закрепления подложек в вакуумных установках
Патент 316762
Классы МПК
Устройство для закрепления подложек в вакуумных установках
Иллюстрации
Реферат
О П И С А Н И Е 316762
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
C0IG3 Советских
Социалистических
Республик
Зависимое от авт. свидетельства №
Заявлено 09.1.1969 (¹ 1295635/22-1) с присоединением заявки №
Приоритет
Опубликовано 07.Х.1971. Бюллетень № 30
Дата опубликования описания ОЗ.XI.1971
МПК С 23с 13/08
Комитет по делам иаобретений и открытий при Совете Министров
СССР
УДК 621.793.14.002.51 (088.8) Автор изобретения
Ю. А. Шепрут
Заявитель
УСТРОИСТВО ДЛЯ ЗАКРЕПЛЕНИЯ ПОДЛОЖЕК
В ВАКУУМНЫХ УСТАНОВКАХ
Предмет изобретения
Изобретение относится к области нанесения вакуумных покрытий.
Известно устройство для закрепления подложек в вакуумных установках, содержащее подложкодержатель, контактные элементы и термопару. Однако в известном устройстве для фиксации подложкодержателя требуется отдельный крепеж, что усложняет схему подложкодерж ателя.
Предлагаемое устройство отличается тем, что контактные элементы и термопара закреплены на одном основании и выполнены в верхней части в виде штырей, на которые опирается подложкодержатель. Это обеспечивает удобство смены подложкодержателя, На фиг. 1 представлено предлагаемое устройство, вид спереди; на фиг. 2 — то же, вид сбоку.
Устройство состоит из подложкодержателя
1, контактных элементов 2 и термопары 3, Контактные элементы 2 и термопара 8 закреплены на одном основании 4 и выполнены в верхней части в виде штырей, на которые опирается подложкодержатель. Контактные элементы и термопара служат опорами для устанавливаемого на них подложкодержателя, в котором имеются два контактных элемента 5, соединенных со свидетелем б, и углубление для размещения спая 7 термопары.
Контактные усилия составляют примерно одну треть от веса подложкодержателя, т. е. величину порядка 30 — 50 г, что является
I0 достаточным для получения надежного контакта.
1s Устройство для закрепления подложек в вакуумных установках, содержащее подложкодержатель, контактные элементы и термопару, отличающееся тем, что, с целью обеспечения удобства смены подложкодержателя, 20 контактные элементы и термопара закреплены на одном основании и выполнены в верхней части в виде штырей, на которые опирается подложкодержатель.
2 6
Составитель А. Резник
Редактор T. Фадеева Техред 3. Н. Тараненко Корректор Е. Н. Миронова
Заказ 3099/8 Изд. № 1298 Тираж 473 Подписное
ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений л открытий при Совете Министров СССР
Москва, 7К-35, Раушская наб., д. 4/5
Типография, пр. Сапунова, 2