Способ получения покрытий
Иллюстрации
Реферат
3I7720
СПИ САНИ Е
H305P ЕТЕ Н ИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Советских
Сопи алистических
Респубдик
Зависимое от авт. свидетельства ¹
Заявлено 21 VIII.1968 (№ 1265395/22-1) с присоединением заявки ¹
Приоритет
Опубликовано 19.Х.1971. Бюллетень ¹ 31
Дата опубликования описания 27,XII.1971
МПЬ; С 23с 11/00
С 23Ь 49/00
Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров
СССР
УДК 621.793.16(088.8) Лвтор изобретения
Ю. H. Токаев
Заявитель
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ flob, ÐÛÒÈ É
Изобретение относится к способам получения покрытий путем осаждения из газопаровой ф азы.
Известен спосоо получения покрытий путем восстановления галоидопроиз водных соединений водородом на нагретой поверхности подложки.
Однако такой способ обладает недостаточной производительностью и требует применения мощного нагревательного оборудования.
Предлагаемый способ отличается от известного тем, что восстановление осуществляют атомарным водородом.
Это позволяет интенсифицировать, а также упростить процесс осаждения за счет исключения дополнительного нагревательного оборудования.
При осуществлении способа источником тепла для нагрева поверхности подложки служит рекомбинация атомов водорода.
Ввиду большой активности атомов водорода и отсутствия стадии диссоциации скорость реакции увеличивается, что интенсифицирует процесс. Температуру поверхности подложки регулируют изменением ее расстояния до среза сопла атомно-водородной горелки, из которой атомарный водород подают к поверхности подложки, Одновременно к поверхности подложки подводят струю легколетучего галоидного соедипения, в качестве которого используют, например металлоорганические и другие химические соединения. Процесс осуществляют в конгролируемой àтмосфере при перемещении горелки lio всей покрываемой поверхности.
Путем регулирования скорости перемещения горелки получают покрытия различной толщины.
Пример. На поверхность графитовой под10 ложки) находящейся в атз!Осфсре аргона, подают струю атомарного водорода. В результате рекомбинации атомов водорода графит нагревается до 500 †6 С. Одновременно в зону соприкосновения струи водорода с поверх15 ностью графита подают струю газообразного гексафторида вольфрама. В результате взаимодействия гексафторида вольфрама с ато»apным водородом на поверхности подложки оса?кдае1ся сло11 металлического вольфрама.
20 Скорость оса?кдения 0,5 — 2 птл1/пас.
Предмет изобретения
Способ получения покрытий путем восста25 новления, например, галоидопроизводных соедипешш водородом на нагретой поверхности подложки, от.ш)1а)оп1пйся тем, что, с целью интенсификации процесса, восстановление oc)ществляют атомарным водородом.