Полуавтомат для откачки электровакуумныхприборов
Патент 321871
Авторы
Классы МПК
Полуавтомат для откачки электровакуумныхприборов
Иллюстрации
Реферат
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
32I87I
Союз Советских
Социалистических
Республик
Зависимое от авт. свидетельства №
Заявлено 02.XI I.1968 (№ 1287519 26-25) с присоединением заявки №
Приоритет
Опубликовано 19.XI.1971. Бюллетень ¹ 35
Дата опубликования описания 23. I I.1972
МПК Н Olj 9/38
Н Olj 948
Комитет по делам изобретений и открытий при Сввете Министров
СССР
УДК 621,385.6(088.8) Авторы изобретения A. А. Гаврилов> А. И. Пипко, В. Я. Плисковский и 1О, Ф. Трубников
3 аявитель
БИБЛ >то! Е -4А
ПОЛУАВТОМАТ ДЛЯ ОТКАЧКИ ЭЛЕКТРОВАКУУМНЫХ
ПРИБОРОВ
Изобретейие относится к оборудовани1о для производства электровакуумных изделий, в частности, для откачки и обезгаживапия СВЧвакуумных приборов с металлическим откачным штенгелем.
Известен полуавтомат для откачки и обезгаживания электровакуумных приборов с металлическим штенгелем, содержащий несущую раму, карусель с приводом периодического поворота, установленные на карусели откачные гнезда для изделий и защитные колпаки, а также откачную систему. На автомате осуществляют следующие технологические операции: зональный нагрев корпуса изделия и его стеклянных элементов, высоковакуумную откачку полости изделия и откачку защитного колпака, термическую ооработку катода и геттера и съем изделия в холодном состоянии.
Недостаток автомата — отсутствие возможности осуществления на пем герметизации и отделения прибора от вакуумной системы в горячем состоянии без нарушения вокруг прибора защитного разряжения, что приводит к значительному увеличению конечного давления в полости прибора после остывания, Цель изобретения — снижение конечного давления в приборе путем отпая штенгеля в горячем состоянии.
Цель дотигается за счет того, что откачные гнезда снабжены установленными в направляющих с диаметрально противоположHbIx сторон Но отношению к оси >штенгеля дву5 мя пуансонами, взаимодействующим с подпружиненными штоками, смонтированными герметично в защитных колпаках, а на раме установлен механизм одновременного перемещения штоков, выполненный в виде рычаж10 ного усилителя, смонтированного вместе со своим приводом на качающейся в вертикальной плоскости плите.
На фиг. 1 изображен общий впд полуавтомата; на фиг. 2 — механизм одновременно15 го перемещения штоков.
На П-образной раме 1 смонтирована карусель 2, несущая на себе откачные гнезда 8 для установки в нпх приборов 4, а также защитные колпаки 5, служащие для создания
20 внешнего вакуума вокруг приборов, примерно (8 — 5) 10 "лтлт рт. ст.
Внутри колпака смонтированы нагревательные элементы, предназначенные для радиационного нагрева стеклянных элементов
25 изделия. Корпус прибора прогревается путем контактного нагрева графитовых электродов
6, через которые пропускается ток большой силы. Графитовые электроды шарнирно укреплены на медных рычагах 7, введенных
30 внутрь колпака через резиновые диафрагмы, Колпак имеет двойные стенки, между которыми протекает вода для его охлаждения, а на нижней торцевой поверхности — проточку с резиновым кольцом 8, уплотняющим колпак относительно карусели. Подъем колпака осуществляется посредством механизма 9, установленного на последней позиции полуавтомата.
Высоковакуумная откачная система состоит из магниторазрядного насоса 10, блока клапанов 11 и сорбционной ловушки 12. Предварительная откачка колпаков осуществляется через механизм предварительной откачки 13 централизованной форвакуумной системой на позиции загрузки в момент стоянки карусели.
Откачка колпаков во время проведения технологического процесса осуществляется двухроторными вакуумными насосами 14, выхлопы которых через форвакуумный коллектор
15 подключены к централизованной форвакуумной магистрали.
Процесс отпая прибора производят методом компрессионной сварки с одновременной обрезкой штенгеля. Для этой цели в откачных гнездах смонтированы в направляющих 16 друг против друга два пуансона 17, которые взаимодействуют с подпружиненными штоками 18, герметично установленными в боковых стенках защитных колпаков.
Рабочее движение штоков в момент отпая производится за счет механизма, установленного на раме в положении, соответствующем последней технологической позиции. Этот механизм состоит из рычажного усилителя 19, смонтированного на качающейся в вертикальной плоскости плите 20. Приводом усилителя является эксцентрик 21, кинематически связанный с электродвигателем 22. На одном валу с эксцентриком закреплен цилиндрический кулачок 23 подъема и опускания плиты.
Технологический процесс на полуавтомате осуществляется в следующей последовательности. На первой позиции устанавливают изделие, сочленяют его с вакуумной системой, подключают электрическое питание к клеммам выводов подогревателей катода и геттера, проверяют целостность электрических цепей. На этой же позиции осуществляют предварительную откачку объема защитного колпака. На второй позиции производится предварительная откачка изделия, С третьей по тринадцатую позиции прогревом до 600 обезгаживается металлический корпус изделия, а с пятой по двенадцатую — стеклянные элементы прибора. Обезгаживание катода начинается на четвертой позиции и заканчивает5
55 ся актиьировкой на шестнадцатой. На позициях с шестой по двенадцатую обезгаживается нераспыляемый геттер прибора. Начиная с третьей позиции и кончая шестнадцатой в полости прибора поддерживается достаточно низкое давление, 5.10 7 — 1 10 8 мм рт. ст., обеспечиваемое откачкой безмасляными сверхвысоковакуумными магниторазрядными насосами. Давление в приборе уже на тринадцатой позиции достигает 1 ° 10 >,мм рт. ст. Откачка колпаков во время проведения технологического процесса проводится двухроторными вакуумными насосами через сорбционные ловушки, предотвращающие загрязнение колпаков продуктами рабочей жидкости этих насосов.
Давление в колпаках поддерживается на уровне (8 — 5) 10 4 мм рт, ст.
Отпай штенгеля осуществляется на шестнадцатой позиции непосредственно в опущенном колпаке при температуре 300 — 400 С. При этом плита 20 с рычажным усилителем, находящаяся в момент поворота карусели в верхнем положении, опускается благодаря криволинейному профилю кулачка 23. При вращении эксцентрика 21 рычаги сжимаются и давят на штоки 18, которые в свою очередь передают давление на пуансоны 17, за счет которых осуществляется компрессионная сварка и обрезка штенгеля прибора 4.
Предмет изобретения
1. Полуавтомат для откачки электровакуумных приборов с металлическим штенгелем, содержащий несущую раму, периодически поворачивающуюся карусель с установленными на ней откачными гнездами для приборов и защитными колпаками, а также откачную систему, отличающийся тем, что, с целью снижения конечного давления в приборе путем отпая штейнгеля в горячем состоянии, откачные гнезда снабжены установленными в направляющих с диаметрально противоположных сторон по отношению к оси штенгеля двумя пуансонами, взаимодействующими с подпружиненными штоками, смонтированными герметично в защитных колпаках, а на раме установлен механизм одновременного перемещения штоков.
2. Полуавтомат по п. 1, отличающийся тем, что механизм одновременного перемещения штоков выполнен в виде рычажного усилителя, смонтированного вместе с приводом на качающейся в вертикальной плоскости плите,