Вакуумная напылительная установка

Вакуумная напылительная установка

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

322421

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социвлистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 11.И11.1969 (№ 1356975/26-9) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано ЗО.Х1.1971. Бюллетень № 36

Дата опубликования описания 9.II.1972

М. Кл. С 23с 13/08

Комитет по лелем изобретений и открытий лри Совете Министров

СССР

УДК 621.523 (088.8) Авторы изобретения

В. А. Громаковский и Н. И. Шлеин

Заявитель

ВАКУУМНАЯ НАПЫЛИТЕЛЬНАЯ УСТАНОВКА

Изобретение относится к технологии производства радиоаппаратуры и может быть использовано для изготовления интегральных криотронных схем методом напыления через трафареты.

Известна вакуумная напылительная установка, содержащая вакуумную камеру, механизм смены трафаретов и испарителей и загрузочное устройство с шлюзовым затвором.

Недостаток известной вакуумной напылительной установки состоит в непроизводительных затратах времени на смену трафаретов и откачку вакуумной камеры.

Цель изобретения — повышение производительности установки.

Это достигается тем, что шлюзовое загрузочное устройство выполнено съемным, и между шлюзовым затвором и вакуумной камерой расположен дополнительный затвор.

На чертеже схематически изображена вакуумная напылительная установка.

Установка содержит вакуумную камеру 1, в которой установлен подложкодержатель 2 с подложкой, укрепленной на конце штока 8, механизм смены трафаретов 4 и испарителей 5, смонтированный па фланце б, шлюзовое загрузочное устройство 7 с шлюзовым затвором 8, дополнительный затвор 9, вакуумный насос 10 и caëüíèêîâîå уплотнение 11, через которое проходит шток 8. Шлюзовое устройство выполнено съемным, а дополнительный затвор 9 расположен между шлюзовым затвором 8 и вакуумной камерой 1.

Напыление на подложку производится че5 рез все имеющиеся в устройстве трафареты, после чего шток 8 выводят вверх до тех пор, пока подложкодержатель 2 с подложкой не окажется в шлюзовом загрузочном устройстве 7. Последнее снимают с установки, пере10 крыв его шлюзовым затво" îì 8, и включают вспомогательный вакуумный насос 10, поддерживающий в шлюзовом устройстве необходимое время высокий вакуум.

Если имеется только одна вакуумная на15 пылительная установка, то вакуумная камера вскрывается, трафареты 4 и, если необходимо, испарители 5 меняются, вакуумная камера вновь закрывается и откачивается, после чего шлюзовой затвор 8 открывается и под20 ложкодержатель 2 с подложкой опускается в положение, при котором осуществляют дальнейшее напыление.

Если вакуумных напылительных установок несколько, то в них могут быть смонтировань;

25 различные трафареты и =огда напыление схемы производится на двух или более установках. При этом после выведения подложкодержателя 2 с подложкой в шлюзовое загрузочное устройство 7 закрывают шлюзовой за30 твор 8 и дополнительный затвор 9. Далее за3224?1

Предмет изобретения

Составитель Г. Челей

Корректор 3. Тарасова

Техред Л. Богданова

Редактор Н. Белявская

Заказ 124/10 Изд. ¹ 1780 Тираж 473 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Ж-З5, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2 творы 8 и 9 разъединяют, накачивая м.жду ними воздух, шлюзовое загрузочное устройство 7 с наполовину напыленной схемой переносят на вторую вакуумную напылительную установку. Далее соединяют затвор 8 шлюзового загрузочного устройства 7 и затвор 9 второй напылительной установки, откачивают воздух из межшлюзового пространства, открывают оба затвора 8 и 9, опускают подложкодержатель 2 с подложкой в рабочее положение для дальнейшего напыления схемы. В то же время на первую установку помещают другое шлюзовое загрузочное устройство с подготовленной к напылению подложкой и напыление схемы ведут параллельно на двух установках.

Вакуумная напылительная установка, содержащая вакуумную камеру, механизм смены трафаретов и испарителей и шлюзовое загрузочное устройство с шлюзовым затвором, 10 отлича1ощаяся тем, что, с целью повышения производительности установки, шлюзовое загрузочное устройство выполнено съемным, и между шлюзовым затвором и вакуумной камерой расположен дополнительный затвор.