Травильный раствор^';>&"--л:;'::-:гч-] .i;l!:f;::; .2i:;::i j
Патент 325224
Классы МПК
Травильный раствор^';>&"--л:;'::-:гч-] .i;l!:f;::; .2i:;::i j
Иллюстрации
Реферат
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕН ИЯ
Со@а CGDGTGKNX
Соцналнстичвских
Республик
Зависимое от авт. свидетельства №
Заявлено 24.Ч111.1970 (№ 1473649/29-33) с присоединением заявки ¹
Приоритет
Опубликовано 07.1.1972. Бюллетень ¹ 3
Дата опубликования описания 23.II.1972
М. Кл С 03с 15/00
Комитет по делав изобретений и открытий прн Совете Министров
СССР
УДК 666.266.3(088.8) Авторы изобретения
И. А. Аракчеева и P. И. Ткачева
Заявитель
1
Г р)
ТРАВИЛЬНЫИ РАСТВОР
0,0015 — 0,0035
63,9 — 69,9
0,0015 — 0,0035
63,9 — 69,9
Изобретение касается состава травильных ванн для стекла и относится к области полупроводникового производства.
Известен трàBèëьный раствор для стекла, включающий плавиковую и серную кислоту.
Целью изобретения является повышение эффективности действия травителя.
Достигается это тем, что в него введен 1,5дифенилтиокарбазон, при этом компоненты взяты в следующем соотношении, вес. %:
HF (42%-ный раствор) 15 — 18
На$0, (88%-пый раствор) 15 — 18
1,5-дифенилтиокарбазон
Вода
Раствор приготавливают следующим образом: порошок 1,5-дифенилтиокарбазона растворяют в серной кислоте, затем смешивают с плавиковой кислотой, хорошо перемешивают и выливают в воду.
11аиболсс оптпмальньIIl состав Tp3B11Tc :tÿ следующий, HF (42%-ная) 16,1
Н $04 (88% -ная) 16,1
5 1,5-дпфецилтиокарбазоц 0,0022
Вода остальное
Время снятия боросиликатного стекла составляет 15 — 30 сек.
Предмет изобретения
Травпльный раствор для обработки стекла, включающий НГ и Н2$04, отличающийся тем, что, с целью повышения эффективности действия, он дополнительно содержит 1,5-дифе15 нилтиокарбазон при следующем соотношении компонентов, вес. %:
НГ (42%-пый раствор) 15 — 18
Н:$04 (88%-ный раствор) 15 — 18
20 1,5-дифенилтиокарбазоп
Вода