Оптическое интерференционное покрытие
Иллюстрации
Показать всеРеферат
О П И С А Н И Е 326I4I
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Советских
Социалистицеских
Республик
Зависимое от авт. свидетельства Мю—
Заявлено 04.Ч.1970 (М 1436935/29-33) с присоединением заявки Ы—
Приоритет
Опубликовано 19.1.1972. Бюллетень . и 4
Дата опубликования описания 29.II.1972
М. Кл. С 03b 17/00
Комитет по делам изобретений н открытий при Совете Министров
СССР
УДК 666.1.056(088.8) Авторы изобретения
С. О. Мирумянц, И. С. Гайнутдинов, В, А. Марциновский, Е. Ф. Дедюхин и Н. М. Александрова
Заявитель
ОПТИЧЕСКОЕ ИНТЕРФЕРЕНЦHOHHOE ПОКРЫТИЕ
Предмет изобретения
Si02
2 — 98
2 — 98.
SnO2
Изобретение относится к оптическим интерференционным покрытиям и может быть использовано в оптической промышленности для просветления, например, полупроводниковых материалов.
Известно интерференционное покрытие, включаюшее двуокись кремния. Недостатком такого покрытия является низкий показатель преломления, что не позволяет использовать
его для просветления деталей с относительно большим показателем преломления.
С целью повышения показателя преломления предлагаемое покрытие дополнительно содержит двуокись олова при соотношении компонентов (в вес. о/о):
ЬтО 2 — 98
SnO2 2 — 98.
Покрытие получают путем совместного осаждения двуокиси кремния и двуо иси олова. Двуокись кремния получают при сжигании паров метилового эфира ортокремневой кислоты в пламени водорода, а двуокись олова — при гидролизе паров четыреххлористого олова. Указанные реакции осаждения проводят над нагретой до 300 С поверхностью покрываемой детали. В качестве газоносителя используют осушенный и очищенный воздух.
Соотношение смешиваемых компонентов определяется соотношением количеств газоносителей, направляемых для насыщения парами метилового эфира ортокремневой кислоты и парами четыреххлористого олова.
В зависимости от соотношения смешиваемых компонентс показатель преломления покрытия принимает значение от 1,45 до 1,95.
Предлагаемое покрытие может быть исполь10 зовано для получения однослойных просветляющих слоев, работающих в условиях повышенной влажности или агрессивных сред, а также входить в качестве составляющей части в многослойную интерференционную систему
15 слоев.
20 Оптическое интерференционное покрытие, включающее двуокись кремния, отличающееся тем, что, с целью повышения показателя преломления, оно дополнительно содержит двуокись олова при соотношении компонентов
25 (в вес о/о):