Способ контроля толщины последовательно наносимых на подложку слоев диэлектрикови металла
Патент 326535
Классы МПК
Способ контроля толщины последовательно наносимых на подложку слоев диэлектрикови металла
Иллюстрации
Реферат
326535
Предмет изобретения
Составитель А. Шеломова
Техред Л. Куклина
Корректор Л. Царькова
Редактор Т. Орловская
Заказ 514/14 Изд. М 112 Тираж 448 Подписное
ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Москва, 7К-35, Раушская наб., д. 4/5
Типография, пр. Сапунова, 2
Способ контроля толщины последовательно наносимых на подложку слоев диэлектриков и металла с определением толщины диэлектрических слоев по измерению пропускания на длине волны Х1, соответствующей наибольшему отражению диэлектрического покрытия, отличаюи1ийся тем, что, с целью повышения точности, контроль пропускания при нанесении слоя металал ведут на длине волны Х2, соответствующей области высокого пропускания
S диэлектрического покрытия, и момент достижения заданной толщины слоя определяют по достижению минимального значения разности пропускания на длинах волн Х1 и Х2.