Устройство для контроля толщины диэлектрическихпокрытий

Устройство для контроля толщины диэлектрическихпокрытий

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

. — г

=тт-"И - А Н И Е

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

327373

Союз Советских

Социалистических

Республик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Зависимое 7T clBT. свидетельства—

Заявлено 09.IV.1970 (№ 1425314/25-28) .Ч.1хл. 6 ОIЬ с;06 с присоед liHением заявкI1 ¹â€”

Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров

СССР

Прио,ритет—

Опубликовано 26.1.1972. Бюллетень ¹ 5

УД К 531.715.2:531.717.53 (088.8) Дат<1 опублIIêîâанпя описания 28.111.1972

Авторы изобретения А. С. Бернштейн, Н. Н. Каримов, С. Ф. Корндорф и Х. К. Шаков

Заявитель

Московский станкоинструментальный институт

УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТРОЛЯ ТОЛЩИНЪ| ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ

ПОКРЫТИЙ

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике.

Известно устройство- для контроля диэлектрических покрыгий, содержащее жестко связанные датчики токовихревой и потока излучения, электронный индикатор сигналов, один вход которого связан с токовихревым датчиком, а другой — с датчиком потока излучения, и стрелочный индикатор сигналов, подключенный к выходу электронного индикатора сигналов.

Однако точность, производительность и надежность контроля, покрытий этим устройством недостаточны, так как информация, полученная от датчика .потока излучения, используется только для автоматической регулировки усиления в индикаторе сигналов токовихревого датчика.

Целью изобретения является повышение точности контроля. Для этого в предлагаемом устройстве датчик потока излучения выполнен в виде фотоэлектрического датчика линейных интервалов, состоящего;из источника направленного на покрытие потока света, объектива, воспринимающего отраженный от покрытия поток света, и дифференциального фотоэлектрического преобразователя интенсивности этого потока в электрический сигнал.

Для .повышения .производительности и надежности конт1роля успройство счабжено механизмом для .возвратно-поступательного перемещения датчиков по направлению, совпадающему с нормалью к поверхности покрытия, а электронный индикатор сигналов датчиков выполнен.в виде схемы совпадения.

На чертеже показана схема предлагаемого устройства.

Оно содержит жестко связанные датчики 1 и 2 токовихревой и .потока .излучения, распо1Q ложенные,над контролируемым .покрытием 8, источник 4 направленного на покрытие потока света, объектив 5, установленный в потоке отраженного от покрытия света, дифференциальный фотоэлектрический преооразователь б

15 ннтенсиBHocTH этого потока и стрелочный индикатор 7, подключенный к выходу схемы 8 совпадения. Один вход схемы совпадения связан с преобразователем б, а другой — с токовихревым датчиком.

20 Устройство функционирует следующим образомм.

Датчики 1 и 2 совершают возвратно-поступательное движение по нормали к покрытию 8, Датчик потока излучения фиксирует опреде25 ленный линейный, интервал по изображению светового «пятна» на преобразователе б и выдает сигнал на один из входов схемы совпадения. При этом,на другой вход схемы поступает сигнал от токовихревого датчика, которьш

3О является функцией расстояния между ним и

327373

Предмет изобретения

Составитель А. Духанин

T хрен Е. Борисова

K0ð ðåêò< ð О. Волкова

Рсяаьтор T. Киселева

Занas 93! Изд. № 13! Тираж 448 Подписное

Ц!!ИИПИ Ком ттета по делая изобретений и оакрытий при Совете Министров СССР

Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Облаатная ти нотрафия Костро мокого управления тго печати токопроводящей основой 9. Сигнал, полученный,на выходе схемы совпадения, является функцией .разности зафиксированного линейinoro интервала и расстоян!4я датчика 1 до основы 9, т. е. функцией толщины диэлектрического покрытия 8. Индикатор, лроградуированный в соответствующем масштабе, указывает контролируемую толщину покрытия.

l. Устройство для контроля толщины диэлекгрических покрытий, содержащее жестко связанныс датчики токовихревой и потока излучения, электронный индикатор сигналов, один, вход которого связан с токовихревым датчиком, а другой — с датчиком потока излучения, и сгрелочный индикатор сигналов, подключенный к выходу электрон ного индикатора сигналов, отличающееся тем, что, " целью повышения точности контроля, датчик. потока излучения выполнен в виде фотоэлектрического датчика линейных интервалов, состоящего из

5 источника направленного:на покрытие потока света, объектива, воспринимающего отраженный от покрытия поток света, и дифференциального фотоэлектрического преобразователя интенсивносви этого потока. !

0 2, Устройство по:п. 1, отличающееся тем, что, с целью повышения, производительности контроля, оно снабжено механизмом для возBpBTtHo-поступательного .перемещения датчиков .по направлению, совпадающему с нор-!

5 малью к поверхности покрытия.

3. Устройство по пп. 1;и 2, отличающееся тем, что, с целью, повышения .надежности контроля, электронный индикатор сигналов датчиков выполнен в виде схемы совпадения.