Способ очистки тетрахлорида кремния
Иллюстрации
Показать всеРеферат
ОП ИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву— (22) Заявлено 06.07.70 (21) 1453563/23 — 26 с присоединением заявки №(23) Приоритет— (43) Опубликовано 25.04.76. Бюллетень № 15 (45) Дата опубликования описания28.10.77
Союз Советских
Социалистических
Республик (11) 327782
<пц щ, кл. с о1 в мфт
Государственный комитет
Совета Министров СССР по делам нзоорвтвинй н открытий (53) УДК 661.68(088.8) (72) Авторы изобретения Н Л Спевак, Р. ц. Симаков, И. Б. Козодеров, Л. А. Инсельсон, А, А. Титов, В. M. Павлов н В. И. Морозов
Верхнеднепровский гориометаллургический комбинат (71) Заявитель (54) СПОСОБ ОЧИСТКИ ТЕТРАХЛОРКЦА КРЕМНИЯ
Изобретение касается очистки тетрахлорида кремния, широко применяемого во мнагих отраслях промышлеымж, в частности s химической промышленности для получения этилсиликата, а также для получения полунроводнпковых соединений.
Известен ректификационный способ очистки тетрахлорнда кремния, получаемого при хлорированиии ферросилиция и карборунда.
Однако известные схемы ректттфнкациониой очистки указанного татрахлорида кремния не могут приькняться: для тетрахлорйда кремния, получаемого как побочный лтродукт йри хлорировании циркона. Это объяснается различием s химической 15 рироде примесей,,соде ржатцнхся а исходном сырье. Исходный продукт содержит следующие основные примеси, которые должны быль отделены согласно требованиям кремнеорганической лромышленностн: соединения железа, марганца, маг- рф ния, алюминия, меди, титана, цирконня, бора и других металлов, а также хлорсодержащне opram ecxae вещества.
Для глубокой очистки тетрахлорнда кремжя, полученного иэ продуктов хлорирования циркона, предлагается способ,.по которому о втстку осуществляют путем сочетания процесса выпаривания с трехстадийной ректнфикацней.
При предварительном выпаривании при
100 — 120 С в аппарате с вращающимся ротором происходит очистка исходного продукта oz вкрастворимьтх приьксей. Образующиеся пары поступают на первую стадию ректяфнкацни, которую проводят при температуре в головке и кубе колонны
54 н 134 С ооответственко. С первой стадии ректификации рабочая свесь, освобожденная от трудит» летучих примесей; направляется на вторую стадию, осуществляемую в интервале теьятератур 52-56 С, На этом этапе происходит очистка от легколетучих прньксей. Третью стадию ректнфикации проводят при температуре 57 — 60 С.
Предложенный сттособ апробирован в заводских и лабораторных условиях, геэулътаты испытаний приведены в таблице.
4 ю, Д9
327782
Содержание примесей в очйщенном тетрахлориде кремния
Содерх
Примес
Одер вес.%
Данные, приведенные в таблице, показывают, что нри помощи описываемого способа можно получить тетрахлорид кремния высокай частоты.
Формула изобретения
Сдсаоб очистки тетрахлорида кремния путем ректификации, отличающийся тем, что. с
Составитель А. Груздев
Техред 3 аинта - Корректор Л Небола
Редактор Н. Корченко
Заказ 1447/1334 Тираж 629 Подписное
ЦНИИПИ Государственного комитета Совета ЬЬннстров СССР ло делам изобретениЯ н открытка
113035, Москва, Ж вЂ” 35. Раушскал нао., д. 4/5 филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4
Яйм44фг -.ъ
«йМ91«1 °
4 «4М целью глубокой очистки тетрахлорида кремния, полученного из продуктов хлорирования циркона, исходный продукт предварительно выпаривают при 100 — 120 С, а ректификацию проводят в три стадии: при 54-134 С, 52-56 С, и
57-60 С.
2e