Покрытие на диэлектриках

Покрытие на диэлектриках

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

333I5I

Союз Советокит

Социелиетическик

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 10Х111.1970 (№ 1471165/29-33) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 21,111.1972. Бюллетень ¹ 11

Дата опубликования описания ЗХ.1972

М. Кл. С 04Ь 41/38

С 03с 17/06

Комитет по делом ивобретеиий и открытий при Совете Миниетров

СССР

УДК 666.3.056.5(088.8) Авторы изобретения

Б. П. Крыжановский и С. В. Федулов

Заявитель

ПОКРЫТИЕ НА ДИЭЛЕКТРИКАХ

30 — 70

30 — 70

Мо

Т1 Ог

Изобретение относится к области изменения электрических и оптических свойств диэлектриков путем нанесения на их поверхность тонких полупроводниковых покрытий.

Известно покрытие на диэлектрика.;., включающее молибден.

С целью повышения поверхностной электропроводности, оно дополнительно содерткпт двуокись титана при следующем соотношении компонентов, вес. %:

Мо 30 — 70

TiO2 30 — 70

Покрытия из мпкрокомпозпцни двуокиси титана и молибдена могут быть получены различными способами, например:

1. Нанесением па поверхность диэлекгрика слоя состава двуокись титана-трехокись молибдена с последующей ооработкой в атмосфере водорода при 400 — -800 С. Исходный слой

Т10о — МоОе наносится при этом на диэлектрик путем гидролиза смеси этилового эфира ортотитановой кислоты и пятихлористого молибдена, растворенных в спирте или одновременным реактивным катодным распылением титана и молибдена в атмосфере кислорода.

2, Одновременным испарением двуокиси титана и металлического молибдена прн помощи электроннолучевого испарителя.

В зависимости от соотношения концентраций, входящих в микрокомпозиционный слой компонентов, можно получать покрытия с удельным поверхностным сопротивлением от

10 до 10то ом и светопропусканием 20 — 75% соответственно.

Эти покрытия устойчивы по электрическим и оптическим свойствам в атмосфере водорода до 700 — 800 С и во влажной атмосфере

1О (относительная влажность 98% до 50 С).

Механическая прочность покрытий очень высока: для пх удаления с поверхности диэлектрика (кварц, стекло, ситалл, керамика) требуется шлифовка абразивным порошком, В качестве токоподводов к проводящему покрытшо можно использовать серебро, впеченное из известных специальных паст, или металлические слои, наносимые вакуумным испарением.

Предмет изобретения

Покрытие на диэлектриках, включающее молибден, отличаюитееся тем, что, с целью повышения поверхностной электропроводности, оно дополнительно содержит двуокись титана при следующем соотношении компонентов, мол. %: